UV废气处理是通过紫外线光照技术将废气中的氧气分解为臭氧，利用臭氧与废气进行反应，将气体物质进行降解，再利用高能的UV光束裂解**的分子间，达到杀菌的目的。还降解技术成本低廉，催化燃烧设备厂家，运行稳定可靠，无需专人看护，但在废气处理的速度上较慢，相比低温等离子技术效率偏低。
低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，催化燃烧哪家好，气体被迅速击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。 低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。(注：低温等离子体相对于高温等离子体而言，属于常温运行。) 等离子体反应区富含极高的物质，如高能电子、离子、自由基和激发态分子等，废气中的污染物质可与这些具有较高能量的物质发生反应，废气催化燃烧，使污染物质在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到讲解污染物的目的。与传统的电晕放电形式产生的低温等离子技术相比较，等离子体技术放电密度是电晕放电的1500倍，催化燃烧，这就是传统低温等离子体技术治理工业废气99%以失败而告终的原因。
废气通过RTO设备之后分解成小分子经后续的洗涤装置，依然会有残留的酸性气体、硫化物、氮氧化物、Cl-、F-、盐等。现有RTO设备本体和管道一般为304不锈钢，旋转阀材质为316L，诸多案例表明，蓄热陶瓷体由于质量较大，支撑件通常要承受较大的应力腐蚀，如废气中有残留的Cl-、F-、酸性气体等，对设备本体、管道、RTO炉旋转阀易产生较大腐蚀，系统难以稳定、有效运行。
顺流形式的喷雾塔，液体和含尘气流在塔内按同一方向流动，一般是从顶部淋下来，对于液滴从气流中分离有利，缺点是惯性碰撞效果差，主要用于使气体降温和加湿等过程。而错流形式的喷雾塔，即液体由塔的顶部淋下来，而含尘气流水平通过喷雾塔。喷雾塔洗涤器下部一般设有集液管槽，并附设有沉淀池，使液体能循环利用!喷雾塔，又称喷淋塔。塔内无填料或塔板，但却设置有喷嘴的吸收塔。液体由塔顶进入，经过喷嘴被喷成雾状或雨滴状；气体由塔下部进入，与雾状或雨滴状的液体密切接触进行传质．使气体中易溶组分被吸收。结构简单，不易被堵塞，阻力小，操作维修方便。
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