臭氧在水中的分解速度比空气中快的多。在含有杂质的水溶液中臭氧迅速回复到形成它的氧气。如水中臭氧浓度为 6.25×10 -5 mol/L(3mg/l) 时，高压蒸汽清洗机厂家，其半衰期为 5 ～ 30min ，但在纯水中分解速度较慢，如在蒸馏水或自来水中的半衰期大约是 20min （ 20℃ ），然而在二次蒸馏水中，经过 85min 后臭氧分解只有 10 ％，学校高压蒸汽清洗机，若水温接近 0℃ 时，臭氧会变得更加稳定。
臭氧在水中的分解速度随水温和 PH 值的提高而加快
臭氧发生系统除了臭氧放电单元（即发生器主体）外，还必须有供气系统、空气干燥系统、高压电源、控制盘、冷却系统。供给发生器的空气必须经过过滤干燥，海南高压蒸汽清洗机，通常采用硅胶或分子筛作干燥剂。在空气湿度大的地区或大型臭氧发生器还采用冷冻除湿系统。中小发生器采用变压吸附再生除湿系统，使用两个干燥柱，自动切换，连续除湿。大型臭氧发生器采用热再生的干燥系统比较经济。
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