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KOAN 晶体介绍晶体声波化学传感器(QCM)

QCM 一般采用 AT 切压电的石英晶体， 因为它的温度系数在室温时为零。在薄压电晶体板片表面各有一金属电极(Au 或 Pt 沉积在压电晶片的上表面和下表面) ，并与共振电路相连，在晶体板上施加一共振电场时就产生了声波。厚度是这类器件中频率变化的决定因素 。当 QCM 表面有物质变化时(增加或减少)都可导致器件厚度的变化，进而引起共振频率的变化。

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KOAN 晶振介绍 QCM 传感器干扰因素排除经验

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QCM 石英晶体传感器往往因为干扰因素使得数据失真，镀金晶片厂家，我们必须采取各种办法减小干扰的影响。传感器装置的晶体基片设置一分离沟，用于降低相邻电极间振动能的耦合。通过这种构造，在分离沟内衰减掉电极间振动能的漏泄，镀金晶片，并且允许进行稳定的测量，镀金晶片价格，同时缩短电极间距离。晶体基片具有电极形成部分比周边部分还薄的结构。通过这种构造，提高了基片的机械强度以确保其支撑，而且通过减小电极部分的厚度能够把它用在高频范围。

传感器装置包括传感器主体(其中应用高频薄晶体基片的电极形成部分比周边部分的厚度还薄)，和由晶体基片或石英基片制成的基片支撑(其厚度小于传感器装置主体，镀金晶片型号，并且其上粘结了传感器装置主体)。

KOAN 石英晶体微天平 QCM 和 和 QCM-D 与 与 MEMS 技术结合

MEMS 即微机电系统（Microelectro Mechanical Systems），是 MEMS 传感器在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、**等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。

MEMS 传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。

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