焊接过程中的热变形和施焊时焊接件的刚性条件是影响焊接残余变形的两个主要因素。根据这两个主要因素可以认为焊接残余变形是不可避免的，马鞍山结构件，即完全消除焊接变形是不太可能的。控制焊接残余变形必须从薄板结构件设计和施工工艺两个方面同时采取措施。
在薄板结构件设计上除了要满足构件的强度和使用性能外，还必须满足构件制造中焊接变形蕞小及耗费劳动工时蕞低的要求。因此优化板缝布置尤为重要，设计图纸中的板缝布置往往对工艺性考虑不周，容易引起焊接变形。
焊接工艺是钢结构施工中的重要工艺之一。合理的焊接工艺是减少焊接变形，减少应力集中的有效方法。
随着液晶面板尺寸的扩大与半导体设备精密度的提高，机台结构件的需求长度稳定性、耐磨性佳、膨胀系数低、硬度高、抗压及抗弯强度佳等性质被愈为重视，其中，对于抗震性佳的花岗岩或陶瓷等材料，由于其具有高阻尼、低振动、热稳定性佳等特性， 因此，其非常适合作为高精密机台使用的主要结构材料。但是，当以花岗岩或陶瓷等原料作为高精密机台的结构件时，仍需藉由螺栓等连接元件进一步地与组成高精密机台的其他构成元件间结合，由于花岗岩与陶瓷的质脆，无法进行攻牙，因此，无法直接在其上形成螺孔来形成螺接结合的空间型态。
真空充型是结构件压铸重要的工艺措施，采用真空工艺应注意以下几点：
（1）及时启动真空系统，冲头封住浇料口后立即开始抽真空。
（2）真空系统功率足够，结构件报价，抽真空快速。
（3）压室充满前必须达到要求的真空度，否则影响效果。
（4）尽量延长抽真空时间，真空阀尽可能的迟闭合。
试验结果表明，型腔内的绝対压力在300mbar 以上时，对铸件的延伸率影响不大。当型腔内的绝対压力达到 150mbar 以下，铸件的延伸率才随真空度的提高而明显增加。真空度对铸件的表面质量也有明显影响，铸件的表面质量随真空度提高而改善。铸件中的气泡随真空度增加而减少，但气泡不是影响铸件延伸率的主导因素。高真空还可以增大压铸工艺窗，结构件设计，使压铸工艺宽松。但高真空对真空设备性能要求高，会导致真空工艺成本增加。
压室的上端，主要用于压室内的空气抽出。当压射冲头前行封住浇料口时，结构件厂家，压室抽真空启动，在冲头即将封住抽气口的瞬间关闭。另一个回路设置与传统的真空工艺基本相同，主要用于型腔内的空气抽出。双回路真空系统可以加速抽真空的速度，有利于获得稳定的高品质铸件。采用嵌入特殊钢环（或铜环）的压射冲头可减小冲头与压室之间的间隙，增加密封性。
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