电子混合气配比的精度：随着混合气中产品组分的增加、配制精度的上升，常要求气体供应商能够对多种 ppm（10-6）乃至 ppb（10-9）级浓度的气体组分进行精细操作，其配制过程的难度与复杂程度也显著增大。 气体储运：保证气体在存储、运输、使用过程中不会被二次污染，对气瓶内部、内壁表面的处理涉及多项工艺，高纯气体供应商，均依赖于长期的行业探索和研发；此外，对于某些具有高毒性或**性的气体，合肥高纯气体，需要使用负压气瓶储运，以减少**气体**风险。
普通气体电子工业中普通气体的分类:普通气体，又称本体气体:氢( H2)、氮( N2)、氧( O2)、ya( A2)等。特殊气体( Specialty gas )主要为SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4N h3po cl3si h2 cl2si HCl3n h3bcl3s if4c l3co2f6n2o2hfhbrfsf6...等等。 特殊气体的种类通常分为腐蚀性、毒性、易1燃性、助燃性、惰性等。特别是SiH4等一些气体具有自燃特性。 一旦发生泄漏，工业高纯气体，就会与空气中的氧反应激烈，开始燃烧。 AsH3也**性。 轻微的泄漏可能会伤害人的生命。
高纯气体充装的抽空操作
一、开启真空泵，同时抽空汇流排，负压值≥0.1MPa，继续抽真空15~30min，关闭抽空管道截止阀后，高纯气体生产厂家，停止真空泵
二、缓慢开启抽空总阀，不要让泵油外溢
三、真空表指示值<-0.1MPa
四、抽空5~15分钟后
五、关闭抽空总阀
六、开启通气阀，不要抽空管路过油
七、关闭真空泵，抽空结束。
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