实验室气路安装3
实验室气路安装设计1
1、实验室常用气体为氢气、压缩空气和氮气。有条件的应远离工作点设计具有防爆性能的气体存放室，没有条件的需设置带有全自动报警功能的气瓶安全柜存放。由气瓶室引入的气路，主要的控制阀门和减压阀门都安装在实验室外。实验室气体管路主要材质为不锈钢，安装在天花板下方，沿着墙走，这样便于检查和维修。此外，**试验台气体管路的引入通过服务柱;所有的气体管路在工作台上有合适的控制阀门和相应的取气口，便于操作;所有气体管路的连接采用无缝焊接。压缩空气气体在管路上有个过虑杂质和水分的净化装置，排气管路不能并在一 起，天燃气管道的氮气置换，盘管由不锈钢材料制成，有足够的韧性。减压阀要有标示，标明压力释放级别。所有阀门、调节装置、压力表都由高质量的不锈钢制成，所 有气体管路有合适的接地保护措施。
重视配管 防尘 ， 做好配管施 工 的 清沽管 理 ， 对 防尘的措施可 能想出多种 ， 必须从实际 工作做起 省先在切 断 ， 洗净 ， 焊接后等作业 结束时利用塑料薄膜或盲盖 封好 ， 而直至使 用时再次打开 不要放在灰尘发生的地方或 室外 切断后切屑婆立 即去除 阀门的开闭 要迅速 ， 一般应 以 关 闭状态 每 天 工 作结束 应将现场打扫干净 ， 尽盘防止尘埃侵人 获 配管的试验 、 检查和分析 配管连接完 工 以 后 ，管道氮气置换， 终工序之 一 的耐 压试验和气密性试验 以及检查 和分析 ， 其一 ，般程序如图 所示 飞 气密性和耐压试验基本应为同时并用 试 验 ， 试验条件以气密性试验的 小时放置及 耐压试验的设计压力 倍进行 同时进行 用检漏液 肥皂泡 试验的发泡确认 另外 ， 通过温度补偿的压 降残余压力 率 的标 准 即 以上 为合格 关于配管洁净度 尘埃 测定应为利用 实 际气体 滁外 的测定 ， 基本上 实施设备连 接取出用初级侧阀门总数的 测定 ， 求 出 平均值以判定是否合格 但在阀与测试仪器 连接 中间应连接扩散管以避免尘埃计数器损坏。 至于和含氧量及其它杂质的分析 ， 在有 纯化装 的场合应 以 纯化器 出 口 指标 为基准 在没有现 场分析仪的 ， 可通 过取样 瓶取样送验 。 但取样瓶必须沽净并在充灌时 予叔 充分里换 遴免任何形 式的沽污 ， 以 确 保其实际值 全部试验合格后 ， ’ 还应对配管介质标注 名称和流 向 一般不锈钢配管不涂 漆 ，管道 氮气置换， 但非 不锈钢支承物应涂漆防锈后交付使用验收 三 、 高纯气体输送系统的管理 高纯气翰送系统的建立不仅耗费较大 的 **和精力 ， 更重要 的它对生产工艺和 产 品 合格率的影响是 巨大的， 要使高纯化系统持 久地 发 挥 效 益 ， 必 须重视 和 加 强 对 它 的 管 理 。 有条件的 ， 建立系统的气体分析盘或 监控盘 ， 用以监视系统 的流食 ， 压力 ， 礴点及 含氧盈 及 凡 以 及装 置的工作 情况和 异 常报警 ， 以便有问题时及时发现 ， 及时调整 建立和健全值班记录制度 ， 对 系 统和 装 置运行工况进行记录 。 定期对系统终端 使用端 进行
念龙化工(图)-燃气管道氮气置换-管道氮气置换由郑州念龙化工产品有限公司提供。郑州念龙化工产品有限公司坚持“以人为本”的企业理念，拥有一支技术过硬的员工**，力求提供更好的产品和服务回馈社会，并欢迎广大新老客户光临惠顾，真诚合作、共创美好未来。念龙化工——您可信赖的朋友，公司地址：郑州市二七区马寨镇东方路7号院内，联系人：张经理。
（1）性气体
把自燃、、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的SiH4气体只要与空气接触就会燃烧，当环境温度达到一定时，PH3与B2 H6等气体也会产生自燃。可燃气体都有一定的着火燃烧范围，即上限、下限值。此范围越大的气体起燃烧**性就越高，如B 2H6的上限为98%，下限为0.9%。属于气体有H 2，NH3，PH3，DCS，ClF3 。
（2）毒性气体（Toxic Gas）：半导体制造行业中使用的气体很多都是对****、**的。其中又以AsH3， B 2H6，PH3等气体的毒性***大，它们的阈限值TLV（Threshold Limited Valve）分别只有50×10-9，100×10 -9，300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微，因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求特别的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。NO， ***F6，C5F8 ，NF3，CH 3F等都属于毒性气体。
（3）腐蚀性气体（Corrosive Gas）：这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性，如HCl， HF， PCl3，燃气管道氮气置换， SiF4，ClF3，WF6等。
（4）惰性气体(Inert Gas)： 隋性气体本身一般不会直接对**产生伤害，在气体传输过程中，相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成事故。属于这类的气体有C2 F6，CF4，SF6，CHF 3等。
（5）氧化性气体（Oxide Gas）：这类气体有较强的氧化性，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有ClF3 ，Cl2，NF3等。
实验室气路安装设计1
1、实验室常用气体为氢气、压缩空气和氮气。有条件的应远离工作点设计具有防爆性能的气体存放室，没有条件的需设置带有全自动报警功能的气瓶安全柜存放。由气瓶室引入的气路，主要的控制阀门和减压阀门都安装在实验室外。实验室气体管路主要材质为不锈钢，安装在天花板下方，沿着墙走，这样便于检查和维修。此外，**试验台气体管路的引入通过服务柱;所有的气体管路在工作台上有合适的控制阀门和相应的取气口，便于操作;所有气体管路的连接采用无缝焊接。压缩空气气体在管路上有个过虑杂质和水分的净化装置，排气管路不能并在一 起，天燃气管道的氮气置换，盘管由不锈钢材料制成，有足够的韧性。减压阀要有标示，标明压力释放级别。所有阀门、调节装置、压力表都由高质量的不锈钢制成，所 有气体管路有合适的接地保护措施。
重视配管 防尘 ， 做好配管施 工 的 清沽管 理 ， 对 防尘的措施可 能想出多种 ， 必须从实际 工作做起 省先在切 断 ， 洗净 ， 焊接后等作业 结束时利用塑料薄膜或盲盖 封好 ， 而直至使 用时再次打开 不要放在灰尘发生的地方或 室外 切断后切屑婆立 即去除 阀门的开闭 要迅速 ， 一般应 以 关 闭状态 每 天 工 作结束 应将现场打扫干净 ， 尽盘防止尘埃侵人 获 配管的试验 、 检查和分析 配管连接完 工 以 后 ，管道氮气置换， 终工序之 一 的耐 压试验和气密性试验 以及检查 和分析 ， 其一 ，般程序如图 所示 飞 气密性和耐压试验基本应为同时并用 试 验 ， 试验条件以气密性试验的 小时放置及 耐压试验的设计压力 倍进行 同时进行 用检漏液 肥皂泡 试验的发泡确认 另外 ， 通过温度补偿的压 降残余压力 率 的标 准 即 以上 为合格 关于配管洁净度 尘埃 测定应为利用 实 际气体 滁外 的测定 ， 基本上 实施设备连 接取出用初级侧阀门总数的 测定 ， 求 出 平均值以判定是否合格 但在阀与测试仪器 连接 中间应连接扩散管以避免尘埃计数器损坏。 至于和含氧量及其它杂质的分析 ， 在有 纯化装 的场合应 以 纯化器 出 口 指标 为基准 在没有现 场分析仪的 ， 可通 过取样 瓶取样送验 。 但取样瓶必须沽净并在充灌时 予叔 充分里换 遴免任何形 式的沽污 ， 以 确 保其实际值 全部试验合格后 ， ’ 还应对配管介质标注 名称和流 向 一般不锈钢配管不涂 漆 ，管道 氮气置换， 但非 不锈钢支承物应涂漆防锈后交付使用验收 三 、 高纯气体输送系统的管理 高纯气翰送系统的建立不仅耗费较大 的 **和精力 ， 更重要 的它对生产工艺和 产 品 合格率的影响是 巨大的， 要使高纯化系统持 久地 发 挥 效 益 ， 必 须重视 和 加 强 对 它 的 管 理 。 有条件的 ， 建立系统的气体分析盘或 监控盘 ， 用以监视系统 的流食 ， 压力 ， 礴点及 含氧盈 及 凡 以 及装 置的工作 情况和 异 常报警 ， 以便有问题时及时发现 ， 及时调整 建立和健全值班记录制度 ， 对 系 统和 装 置运行工况进行记录 。 定期对系统终端 使用端 进行
念龙化工(图)-燃气管道氮气置换-管道氮气置换由郑州念龙化工产品有限公司提供。郑州念龙化工产品有限公司坚持“以人为本”的企业理念，拥有一支技术过硬的员工**，力求提供更好的产品和服务回馈社会，并欢迎广大新老客户光临惠顾，真诚合作、共创美好未来。念龙化工——您可信赖的朋友，公司地址：郑州市二七区马寨镇东方路7号院内，联系人：张经理。
