硅片抛光方法
大体来说,
硅片抛光方法可以分为机械抛光,
化学抛光和化学机械抛
光三大类。
(
1
)机械抛光
机械抛光利用抛光液中的磨液与硅片表面的机械摩擦作用来实现
硅片的表面加工,在早期硅片加工中使用较多。
机械抛光的抛光液一般为氧化铝,
氧化镁,
氧化硅和碳化硅等微细
粉末加水而配制成的悬浮液。
( 2 )
化学抛光
化学抛光就是利用化学**与硅片表面的化学腐蚀反应来达到去
层与修整的加工目的。化学抛光包括液相腐蚀,气相腐蚀,固相化学
腐蚀和电解抛光等。
(
3
)化学机械抛光
化学机械抛光是将化学作用和机械作用同时结合使用的抛光方
法,种类繁多。铜离子,锅具内圆抛光机,铬离子,氧化钛,筋性氧化铝,碱性二氧氧
化硅都是化学抛光







砂带磨削中容易出现的问题及其解决方法
在高速与压力条件下剧裂摩擦的压磨板与砂带背面之间要设置柔性减磨材料——石墨
(一)压磨板组合对砂光质量的影响分析:
砂光缺陷:
1. 横向条纹:出现横纹与压板整体的水平程度、压力、压力的均匀程度、衬垫和石墨垫是否失效密切相关。如果局部有残留横纹,与衬垫的厚度误差和密度弹性不均匀有关。另外横纹还与砂带接头太厚,砂光辊失圆,水壶内圆抛光机,支撑辊有杂物和板材进料速度不均等有关系。
2. 纵向条纹:与砂带局部有损、砂带背面有粘附高点、接触辊表面有凹凸缺陷、石墨垫局部受损或脱落、弹性衬垫局部弹性过高或过低有密切关系。要特别注意石墨垫磨损后的石墨涂层局部损坏、弹性衬垫弹性下降、受损和污脏要及时更换。







抛光机的**与维修方法
一、抛光机**
1、定期检查电器电路,有*损的立即更换。
2、定期检查设备各部件,有松动的立即加固。
3、定期向注油孔内加润滑油。
4、工作前要试开机一次,避免有杂物。
5、工作后要清理机内卫生,保持设备清洁。
二、维修
1、电器电路出现*损,老化时要请**电工进行维修。严禁带电作业。
2、机器部件出现问题时,要买规格相同的配件更换,严禁带毛病开机。
3、机器出现其它严重问题时,要与厂家联系。
三、设备的故障原因及排除方法
设备在运行中产生的故障、原因及排除方法
故 障
原 因
解除方法
突然停止运行,电源指示灯亮,再次起动没反应
熔断器烧掉了
用电笔测量,换掉**即可
电源缺一相电
用电笔测量电源上线,上相缺一相
指示灯亮,但起动没反应
起动端线头脱落
在配电箱中找出脱落线头
运行中突然有剧烈的撞击声
工件扣松动,工件筒脱落
立即停止作业,加固工件扣
电机正常运行,但机器不工作
皮带过松,或断裂
换上新皮带
八、设备的滚动轴承表
设备规格
设备主轴轴承
工件筒架轴承
行星齿轮轴承
08筒
310X2
308X8
205X8
24筒
308X2
305X6
204X6
32筒
310X2
306X8
205X8
48筒
310X2
308X8
205X8
60筒
310X2
308X8
205X8
每个轴承都有加油孔,定期向加油孔内加入少许润滑油
四、设备的电气电路图
五、设备的注意事项
1、该机的额定电压为380V与机器说明相匹配,请仔细阅读后,确认无误方可接线。
2、该机在工作时,禁止贴近或触摸,厨具内圆抛光机,应保持2米之外。
3、出现漏电时应立即停机,禁止漏电工作。
4、机器没有完全停止时,禁止打开仓门。
5、工作中出现异声,立即停止作业,内圆抛光机,进行检查。
6、工作中出现剧烈振动时,立即停止作业。
7、机内禁止存放任何杂物。
8、停机后应对机内进行清洁,用毛巾擦拭,并空转至机内干燥。
9、长期不用时,保持清洁,加油盖好。
10、机体上禁止放杂物。
六、设备的切面图
A主飞轮
B行星齿轮
行星辅助齿轮
D行星主齿轮
E三角带
F电机飞轮
G电机
H次飞轮
I行星仓轴
J行星仓轴承
K主轴轴承
L主轴
M工件筒
N行星仓
O设备体

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