多弧离子真空磁控溅射镀膜机工作原理蒸发系统的结构与工作原理介绍
多弧离子镀膜机是一种、无害、无污染的离子镀膜设备，具有堆积速度快、离化率高、离子能量大、设备操作简略、本钱低、出产量大的长处。
真空多弧离子镀膜机偏压电源的作业原理
离子镀膜正本是离子溅射镀膜，关于导电靶材，运用直流偏压电源；非导电靶材，运用脉冲偏压电源。有的多弧离子镀膜机，可能还需求直流电弧电源或脉冲电弧电源
偏压电源正本即是在阴极和样品所在位置的阳极之间构成偏压电场，通常是阴极加负高压。阴极外表的自由电子在电场效果下定向加快发射，发射电子炮击气体分子，使之电离，并且气体被驱出的电子被电场加快，持续电离别的气体分子，接二连三，构成雪崩效应，气体被击穿，构成稳定的电离电流。此刻离子也被加快，炮击靶材，将靶材中的原子驱除出外表，并堆积在样品外表。
真空磁控溅射镀膜机用户设置具体设置
按“用户设置”钮进入真空磁控溅射镀膜机的用户设置界面，里面的数值除了时间参数可以根据机器运行情况作适当调整外，其余参数经调试设定后一般不作修改。各参数功能如下：
主辊加速时间设定：用于设定主辊从低速度0m/min加速至高速度400m/min的所需时间。单位：5秒。当输入数值为4时，加速时间是20秒。
主辊减速时间设定：用于设定主辊从高速度400m/min减速至低速度0m/min的所需时间。单位：5秒。
收卷张力零速保持：用于设定零速张力保持时，收卷的力矩输出值。
放卷张力零速保持：用于设定零速张力保持时，放卷的力矩输出值。
编码器辊直径输入：此数值为编码器辊直径的实际测量值。此数值必须正确无误，以确保设备运行过程的稳定性。
放卷初径误差值正设定：用于设定卷绕系统启动运行时，“放卷初始卷径输入”值允许高于实际测量值的误差值。
放卷初径误差值负设定：用于设定卷绕系统启动运行时，“放卷初始卷径输入”值允许低于实际测量值的误差值。
摆辊动作时间设定：用于设定摆臂在自动控制模式时，摆辊电眼检测到信号后摆臂自动往外退的动作时间。
真空磁控溅射镀膜机的电气控制系统介绍
真空磁控溅射镀膜机的电气控制系统按位置分为控制柜、变压器组和操作台三个主要部分。设备所有功能的控制元器件包括可编程PLC、变频器、调压模块等都装在控制柜里，控制柜的正面安装有电阻、电离复合真空计，安装有增压泵、扩散泵的加热电流表以及三相电源的指示灯、报警指示灯、紧急停止开关。
变压器组安装在真空罐的下面，其输出端正极直接与对应的蒸发电极棒连接，输出端负极并接后再与蒸发负极连接。
操作台安放在真空罐的前方、观察窗的下方，触摸屏、各部件的操作控制按钮、旋钮或开关都设在操作台的面板上。
触摸屏位于操作面板的左上部，卷绕系统参数包括收放卷的张力、卷径、机器的运行速度等的设置和数据显示、真空系统的运行指示都在触摸屏中进行。
操作面板的右上部是蒸发源加热功率调节钮和电流表，可以调节和显示每组蒸发源的功率。
操作面板的下部是功能控制按钮或开关，包括控制电源总开关、卷绕车进退、摆臂进退、弯辊正反转、送丝开关及速度快慢、盖板开关、系统运行的控制模式选择等。
