







真空镀膜设备离子镀膜上的创新方法
真空镀膜设备多弧离子镀膜上的创新方法,所谓多弧离子镀膜就是置待镀材料和被镀基板于室内,真空镀膜机多弧离子镀膜采用一定方法加热待镀材料,使之蒸发或升华,并飞行溅射到被镀基板表面凝聚成膜的工艺。
多弧离子镀膜的方法,在条件下成膜有很多优点,可减少蒸发材料的原子、分子在飞向基板过程中于分子的碰撞,减少气体中的活性分子和蒸发源材料间的化学反应(如氧化等),以及减少成膜过程中气体分子进入薄膜中成为杂质的量,从而提供膜层的致密度、纯度、沉积速率和与基板的附着力。
真空镀膜设备多弧离子镀膜工艺不仅避免了传统表面处理的不足,且各项技术指标都优于传统工艺,在五金、机械、化工、模具、电子、仪器等领域有广泛应用。催化液和传统处理工艺相比,在技术上有哪些创新?
1、多弧离子镀膜不用电、降低了成本、成本仅为多弧离子镀膜镍的二分之一,真空镀膜机多弧离子镀膜铬的三分之一,不锈钢的四分之一,可反复利用,大大降低了成本。
2、多弧离子镀膜易操作、工艺简单、把金属基件浸入兑好的液体中“一泡即成”,需要再加工时不经任何处理。
真空镀膜机离子镀是什么?
很多人听说过离子真空镀膜机,但是对于真空镀膜机离子镀了解甚少,离子镀是一种镀膜工艺中的一种,下面为大家详细介绍一下:首先给大家它定义:蒸发物质的分子被电子碰撞电离后以离子沉积在固体表面,称为离子镀。离子镀是真空蒸发与阴极溅射技术的结合。
它的原理是:蒸发源接阳极,工件接阴极,当通以三至五千伏高压直流电以后,蒸发源与工件之间产生辉光放电。由于真空罩内充有惰性Ar气,在放电电场作用下部分Ar气被电离,从而在阴极工件周围形成一等离子暗区。带正电荷的Ar离子受阴极负高压的吸引,猛烈地轰击工件表面,致使工件表层粒子和脏物被轰溅抛出,从而使工件待镀表面得到了充分的离子轰击清洗。随后,接通蒸发源交流电源,蒸发料粒子熔化蒸发,进入辉光放电区并被电离。带正电荷的蒸发料离子,在阴极吸引下,随同Ar离子一同冲向工件,当抛镀于工件表面上的蒸发料离子超过溅失离子的数量时,则逐渐堆积形成一层牢固粘附于工件表面的镀层。
它能分为四类:①磁控溅射离子镀。②反应离子镀。③空心阴极放电离子镀。④多弧离子镀。
它的特点:镀层附着性能好,对离子镀后的试件作拉伸试验表明,一直拉到快要断裂时,镀层仍随基体金属一起塑性延伸,无起皮或剥落现象发生;绕镀能力强,因此这种方法非常适合于镀复零件上的内孔、凹槽和窄缝,等其他方法难镀的部位;镀层质量好,离子真空镀膜机镀膜的镀层**致密、无孔、无气泡、厚度均匀;清洗过程简化。
因此现在市面上有多功能离子真空镀膜机的出现,通过大量试验及工业化应用,本项目得出以下结论:
(1)所设计的多种镀膜技术复合的多功能离子镀膜机是成功的。
(2)该设备可大面积低成本制备表面光洁致密、平滑细腻,性能优异的类金刚石膜及金属氮(或碳)化物多元多层膜。
(3)采用特殊的多层梯度中间过渡层及掺杂技术,降低了内应力,提高了膜/基结合力,有利于膜层生长(厚达6mm)。
(4)所制备DLC膜具有优异的综合性能:硬度>20GPa(高达37.25GPa),厚度可调(厚达6mm),膜/基结合力>50N(高达100N),摩擦系数<0.2,膜层光洁细腻。
(5)所开发出的基体/Cr/CrN/CrTiAlN/CrTiAlCN/CrTiC/DLC多元多层耐磨耐热自润滑涂层具有良好的综合性能:硬度高达28.7GPa,厚度1-4mm可调,膜/基结合力大于70N,摩擦系数小于0.2。
(6)所研制的耐磨减摩膜已成功应用于多种高精密工模具以及精密关键部件上。应用结果表明:膜层的表面强化效果显著,可大幅度提高产品质量及使用寿命。
