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相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高，**洁净工程设计，粘附的越难去掉，但当相对湿度低于30%时，漳州洁净工程设计，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面。
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对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间温度不宜超过25度，湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，无尘洁净工程设计，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。
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