管道氮气置换-念龙化工-管道置换氮气

（1）性气体

把自燃、、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的SiH4气体只要与空气接触就会燃烧，当环境温度达到一定时，PH3与B2 H6等气体也会产生自燃。可燃气体都有一定的着火燃烧范围，即上限、下限值。此范围越大的气体起燃烧**性就越高，如B 2H6的上限为98%，下限为0.9%。属于气体有H 2，NH3，PH3，DCS，ClF3 。

（2）毒性气体（Toxic Gas）：半导体制造行业中使用的气体很多都是对****、**的。其中又以AsH3， B 2H6，PH3等气体的毒性***大，它们的阈限值TLV（Threshold Limited Valve）分别只有50×10-9，100×10 -9，300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微，因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求特别的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。NO， ***F6，C5F8 ，NF3，CH 3F等都属于毒性气体。

（3）腐蚀性气体（Corrosive Gas）：这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性，如HCl， HF， PCl3， SiF4，ClF3，WF6等。

（4）惰性气体(Inert Gas)： 隋性气体本身一般不会直接对**产生伤害，在气体传输过程中，相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成事故。属于这类的气体有C2 F6，CF4，SF6，CHF 3等。

（5）氧化性气体（Oxide Gas）：这类气体有较强的氧化性，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有ClF3 ，Cl2，NF3等。

干燥及置换前，与干燥及置换相 关的所有储罐系统应完工，且必须经各相关单位等联合检查，并签字确认。

(I） 储罐安装、罐内接管安装、保冷安装、珍珠岩填充、罐内接地、仪表回路等工作完成确认g

(2） 完成低压泵安 装工作，对储罐进行封闭确认：

(3） 安全阀 和*真 空阀 按规定调 校完 毕并上 报相关资料

其隔离阀锁开。

 现场施工其它工作准备

(I） 现场确保储罐顶部 、楼梯和地面有充分照明以便夜间操作g

(2） 氮气干燥和l置换区域周围设置标志，禁止未 **人员进入置换现场 z

(3） 所有阅门按氮气干燥和置换要求  挂牌标识状态，必要时上锁保 护。

 临时液氮气化系统的安装准备

(I） 液氮储罐的安装，按一般静置 设备基本要求进行 ，管道氮气置换，保证设备的垂直度符合要求；

(2） 临时气化器、加热器安装s

3 ）临时 液氮气化系统管线安 装及与系统氮气相连管道安装；

(4） 整个临时系统管 线的压力试验符 合要求。

 干燥和置换工艺流程及区域划分

工艺流程

液氮气化系统的安装→ l临时氨气管线安装→液氮气化→储罐 A 区置 换→储罐 B 区置换 →储罐 C 区 置换 →储罐 D 区 置换→储罐进行加减压干燥置换→干燥和置换合格确认

 储罐内部置换区域划分

2. 2. 1“压 力－时间”图分析

储罐系统下燥和置换先是对储罐八区  连续的充进氮气连续升压到约4kPa，然后罐顶部开始排放，再连续的调 节内罐A 区底部 充气及拱顶 A 区顶部排放的  状态下，缓慢升压至约8. 5kPa  时，稳压，保持进气与排气基本相同，连续干燥及置换约 24h。在72h 至 270h 干燥和置换区间段内采用了压涨式置换方法进行施工，使压力控制在 10( ± J )kPa 左右，直至储罐干燥和置换达到质量标准要求。在270h 至 330h  区间段时对罐内进行二次加减压排放的方式的干燥和置换，管道置换氮气，罐压力 升至 I 5kPa   后关闭所有排放，静琶!Oh 后，再以缓慢速度至5kPa ，加强巩固储罐系统干燥和置换的效果。储罐系统整个干燥和置换过程

共计使用了约 330h，创造了国内同类工程施工的新纪录，系统整个干燥和置换共计使用液氮量约l320t。

5. 2. 2“氧含量一时间、摇点－时间”图 分析

在开始干燥和l置换的前70h 的时间中，氧含 量下降到约为12%，跟点下降相对较为连续稳定在 5.0  左右时，连续连续干燥及置换的方式效果已不能满足施工的要求，及时调整为压涨式 的方法后，系统在每一轮的升压与泄压过程中逐渐接近质量合 将标准，在干燥必置换270h 之后进行二次加减压排放 ，燃气管道氮气置换氧含量，氧含基本稳定，在合格的甚而上有微小降低，会随着次加压 升高而升高，排放时降低，前雨加压会有反复一定范围的波动，说明储罐在干燥及置换时气体内部混合交换不均匀，在第二次加减压排放后压力降低有 一到 5kPa 时与加压时高压点时的摇点基本相同，保持了稳定。达到了强制加强的效果。由此可见， 在施工中增加l一定范罔的压力及压涨的次数对干燥和置换的效 果较为明显。但这会增加液氮的使用及置换的整体时间。