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微位移球杆仪一般是利用线性位移传感器（LVDT）检测位移变化量的，连杆长度变化范围比较小，一般应用于测量数控机床作圆弧插补运动时的半径变化量。而伸缩式球杆仪一般采用激光干涉仪来记录沿连杆方向的长度变化，因而其连杆长度变化范围要比微位移球杆仪大得多。
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氮化硅
氮化硅具有许多与红宝石类似的特性。
这是一种非常坚硬耐磨的陶瓷材料，可加工成球体。也可抛光为光滑的表面光洁度。
氮化硅与铝之间没有吸附性，因此不存在红宝石测球在类似场合所发生的粘附磨损现象。但氮化硅在钢材表面扫描时却具有很显著的磨擦磨损特性，因此其应用限制在铝质工件上。
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为什么使用球杆仪？
作用：机床精度综合检测分析的标准设备。
测试原理为：利用机床的两轴联动做圆弧插补，通过分析圆弧的半径变化和弧线的轨迹特征来判断机床的误差元素。
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