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半导体/电子厂房洁净室的控制

根据半导体/电子行业的洁净控制要求来看，控制的主要污染源为环境含尘量，在洁净技术方面，可采取三种综合性措施：

1、空气过滤

一般的洁净室空气处理系统采用三级处理过程。级——粗效过滤器，用于保护空调器不受污染；第二级——采用中效过滤器保护风管的洁净度；第三级——采用过滤器保证高质量的空气直接进入洁净室。

2、 采用适当的气流类型

气流类型一般有两类，一类为单向流，常称作层流；另外一类为为非单向流，植物萃取洁净车间，也称作紊流；可根据不同的需求，进行不同的控制。

3、保证各室之间的压差

   一般来说，小于5Pa的压差是毫无意义的，因为难以阻止空气回流；压差大于20Pa（隔离工艺处外）是不合理的，因为并不能改善洁净室的特性，反而形成浪费，故而，东营洁净车间，压差在5～20 Pa范围内即可，不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区的压差应不小于5Pa，洁净区与室外的压差，应不小于10Pa，特殊要求除外。

   另外，通风空调系统在洁净室工作中起着关键的作用，决定着系统功能与是否与设计的生产相符合，具体设计应按具体情况在小的**和运行费用的前提下编制方案。所有的运行控制皆应按照上述四个方面进行。

济南兰桥净化工程有限公司

确定集中或分散式净化空气调节系统时，应综合考虑生产工艺的特点和净化车间空气的洁净度等级、面积、位置等因素。凡生产工艺连续、无尘室或净化车间面积较大时，位置集中以及噪声控制和振动控制要求严格的洁净室，宜采用集中式净化空气调节系统。

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