作为半导体晶圆代工厂气体的使用者，每一位工作人员都应该在使用前对各种**气体的安全数据加以了解，并且应该知道如何应对这些气体外泄时的紧急处理程序。一般来讲，我们将有三重保障来防范万一有意外发生的**气体外泄进入到工作环境中。一个是特种气体的气瓶以及全部经过正负压测漏的气体输送管路；第二个是持续不断的排气抽风系统（Exhaust），管路节点如气瓶柜、VMB、工作台等均具有很强排气抽风系统，以确保每一管路节点外围都处于负压环境。若发生微量的**气体的泄漏，排气抽风系统将******时间抽出；另外一个很重要的是处于抽风口或环境点的毒性气体侦测器系统，若发生任何**气体的泄漏将会被气体侦测系统所侦测到，这个控制系统将根据气体外泄对**危害的大小来确定整个气体输送系统的相关互锁动作，严重时紧急关闭上游所有气源，同时会驱动**控制室和现场的相关报警系统LAU，甚至会驱动全厂的自动语音广播系统通知立即疏散，要求相关人员迅速撤离报警区域。因此只要工程技术人员严格按照所制定的标准作业程序操作，所有这些安全装置都将确保人员不会有安全上的顾虑。
长输管道氮气置换
(4) 结构设计分析。平面张弦梁结构的受力特 性实际上相当简支梁的受力特性。从截面内力情况 来看 ， 张弦梁结构与简支梁一样需要承受整体弯矩 和剪力效应。根据截面内力平衡关系 ， 张弦梁结构 在竖向荷载作用下的整体弯矩由上弦构件的压力和 下弦拉索的拉力所形成的等效力矩来承担。由于张 弦梁结构中通常只布置竖向撑杆 ， 且下弦拉索不能 承受剪力 ， 从 2 根竖向撑杆之间截面内力平衡关系 来看 ， 其整体剪力基本由上弦构件承受。因此上弦 构件除了整体弯矩效应产生的压力外还承受剪力以 及由剪力产生的局部弯矩效应。 (5) 结构设计分析结果。采用有限元分析软件 ANSYS 对张弦梁结构进行了强度及刚度分析 ， 得 到张弦结构中各种杆件的受压应力、拉应 力值、结构的位移和变形情况 ， 终确定结构的各 种杆件的截面尺寸。 (6) 作用分析。对张弦梁结构进行了自振 特性分析和时程响应分析 ， 获得结构前几阶控制周 期及其对应振型。从结构的时程响应和自振周期来
干燥和置换方式的选挥
T l2 03 储罐的氮气干燥和置换，其容积达19. 78 万时，管道氮气置换，置换方法的选择将影响储罐置换的总体进度，从此次置换过程来分析，实际施工时可以灵活的选用任何一种方法进行，但对于此类初期置换容和、，管道氮气置换，大内部空间 空气体积量较 大的可优先采用连续干燥和置换的方式进行，在一定压力下连续置换效果与初期有所下降时，燃气管道氮气置换，及早改用压涨式进行置，换此二种方法相结合对加快储罐系统干燥和置换发挥了良好作用。
5.3. 2 置换路径方面的优化
储罐系统置换所分的四个区，每个区置换的时间要求均不 同，从重要程度、难度方面分析，从工施的可行性这一角度进行论证，可将 A 区与B 区在置换接近设定标准值前，提前用其处的氮气对C 区与 D 区同时进行干燥与置换，多点同时进行的方法相当于缩短了系统置换时间。
5. 3. 3 升、力速度的控制
氮气干燥置换过程中， 每小时压力变化不能超过 2kPa，同时特别注意在升压时要保证各区压力情况为：A 区；，二， B 区 注C 区》D 区。次压涨式进行干燥和置换时，压力范围可控制到3～ lOkPa 左右，之后的可控制到5 ～ IOkPa 左右，加减压排放的方式进行加强巩固干燥效果时，尽可能小的升、力速度，管道 氮气置换，以免压力波动对储罐系统带来不可预见的影响。
5. 3.4 干燥和置换介质讨论
干燥和置换介质从（<BS EN 14620-5- 2006 第 5 部分：试验、
干燥、置换和冷去H》描 述需要选择惰性气体，从经济、适用上优先选用相对便宜且较为容易获取的氮气进行置换工作，置换过程 中可在适当的时间给氮气进行加热处理， 作用为加速空气与氮气的混合，有利于罐内空气及水份的排出，加快达到罐内、 含氧量的质量要求。
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