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水环真空泵的真空镀膜技术,实际上就是通过物理方法,产生一种保护膜,保护真空泵,这种方法虽然说可以减少泵的清洁次数,湖南水环式真空泵,但是,湖南水环式真空泵生产厂家,为了让泵的使用时间更长一些,还是要定期进行清洁。
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有效稀释**气体的浓度:
半导体易产生前面所说的、**的**气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物质,在与空气或氧接触的时候,会引起燃烧甚至;氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。因此半导体真空泵在抽取这些介质时,需要用氮气之类的惰性气体,在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。
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密封件的无损检漏
如果密封件内部具有可作为示漏的物质时,采用动态法或静态法对漏到外面的示漏物质进行检测,湖南水环式真空泵价格,就可测出漏孔来。通常这类密封件内部的示漏气体的分压力要比采用背压法时的压力为高。因此,检漏灵敏度高,费用低。
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