防微振的重要性体现在各行各业:例如感光化学工业,彩色胶片乳剂层14个涂层总厚度仅19μm,在涂布过程中由于微小的振动将使乳剂涂层厚薄不匀,在胶片上产生横纹;在惯导技术方面,为了提高的打击精度,准确命中目标,需要对陀螺仪、加速度计及组合制导(、导航、地形匹配及景物匹配)系统的精度提出高的要求,这种惯导系统的调试和检测,必须在极为宁静的环境中进行;对于微电子工业,线宽0.1μm(4G DRAM)产品已进人市场,硅片加工中的光刻工序对微振动的控制要求极为严格。


动力及照明工程:① 与土建密切配合做好预留工作。② 电线管的下料采用无齿锯,克服管口毛刺。管口设置护口。③ 敷设的导线便于检查、更换。在穿线时将管内的杂物清除,除与设备连接处,洁净室洁净工程,管内不留接头。④ 电缆敷设前必须核对设计无误,安徽洁净室,用500V摇表测量绝缘电阻,合格后方可放线,并逐一挂上写有电缆编号、规格、型号的标志牌。


洁净室土建地面与墙面不平整度不大于0.1%,墙角应垂直连接。为防止墙板因累积误差而倾斜扭曲,洁净室净化公司,墙板垂直度偏差不应大于0.2%。天花板须按房间宽度的方向拱起,使天花板在使用负荷时保持平。天花板的四周应与墙壁紧密相连。在安装过程中,无尘洁净室工程,不得将板材的表面保护膜撕去。施工过程中禁止撞击或板表面。需要粘贴面层的材料、嵌填密封胶的表面和沟槽应防落积尘;粘贴前必须仔细清扫,除去杂质和油污,确保粘贴密实牢固。


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