管道氮气置换-念龙化工

**气体的特别事项
作为半导体晶圆代工厂气体的使用者，每一位工作人员都应该在使用前对各种**气体的安全数据加以了解，并且应该知道如何应对这些气体外泄时的紧急处理程序。一般来讲，我们将有三重保障来防范万一有意外发生的**气体外泄进入到工作环境中。一个是特种气体的气瓶以及全部经过正负压测漏的气体输送管路；第二个是持续不断的排气抽风系统（Exhaust），管路节点如气瓶柜、VMB、工作台等均具有很强排气抽风系统，以确保每一管路节点外围都处于负压环境。若发生微量的**气体的泄漏，排气抽风系统将******时间抽出；另外一个很重要的是处于抽风口或环境点的毒性气体侦测器系统，燃气管道氮气置换，若发生任何**气体的泄漏将会被气体侦测系统所侦测到，这个控制系统将根据气体外泄对**危害的大小来确定整个气体输送系统的相关互锁动作，严重时紧急关闭上游所有气源，同时会驱动**控制室和现场的相关报警系统LAU，甚至会驱动全厂的自动语音广播系统通知立即疏散，要求相关人员迅速撤离报警区域。因此只要工程技术人员严格按照所制定的标准作业程序操作，天燃气管道的氮气置换，所有这些安全装置都将确保人员不会有安全上的顾虑。
安全保障事项

职业健康安全

(1) 按行业规定穿戴防护用品，着棉质防静电工作服，不得

穿带钉子的鞋。

(2) 配备氧气呼吸器。

消防安全

施工作业现场须用警示带隔离并设置“禁止火源”、“禁止

吸烟”等安全标志，在警戒区内严禁烟火，禁止带入火种、手机，管道氮气置换，

按规定配备足够灭火器材。

施工操作安全

(1) 提前对所有放散点进行踏勘，确保放散点与明火和散

发火花地点、民用建筑的距离分别不小于30m、25m，放散口应

高出地面2.5m 以上，并选择空旷平整地带安装稳固。

(2) 置换前，对管道及放散火炬做好接地处理。

(3) 置换进气端须安装压力表，检测压力。

(4) 确保注氮管线与注氮口、放散火炬与放散口连接可靠。

(5) 浓度检测设备应备两台，一台检测，另一台复检，避免

引起误判。

(6) 施工点位应保持通风 ；施工中应采用防爆型工器具 ；

工具轻拿轻放，防止碰撞产生火花。

(7) 严禁相通的天ran气管道同时进行2 个及以上开口( 含

切割口和放散管进行放散的开口) 的碰口作业 ；严禁作业时氮

气、空气进入调压器( 柜) 下游的低压天ran气管道系统。

管道材料溶解到纯水 中的杂质浓度太低了 ，管道氮气置换， 使得许多仪器无法分辨 出来 有两种方法 尚 能相对地对管道材料做一些 比较 浸泡试验 这是将一定面积的管道材料严格清洗后 浸泡在超纯水中， 或将超纯水装 人经严格清 洗的 一 定 长 度的 管道 中， 经 一 定 时 间 的 浸 泡 ， 测定浸泡前后各种 离子和 TOC的变化经计算可得到单位时间内单位面积的管道杂 质的释放里 ， 可 以做各种管材的相对 比较 用 将管道患矛切下显微镜观测管谁内壁 涪， 内璧戮徐金后用 电子显 徽镜观测 ， 观察材料表面 的徽孔 徽孔多易 于沉积徽拉和细蔺 观侧 资料证明， 管 道内壁相当光滑 ， 而 PP管内壁有 阳的0.3-1 微孔
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