工业废气净化设备采用吸收法采用低挥发或不挥发性溶剂对VOCs进行吸收，再利用VOCs和吸收剂物理性质的差异进行分离。含VOCs的气体自吸收塔底部进入塔内，催化燃烧设备，在上升过程中与来自塔顶的吸收剂逆流接触，净化后的气体由塔顶排出。吸收了VOCs的吸收剂通过热交换器后，进入汽提塔顶部，在温度高于吸收温度或压力低于吸收压力的条件下解吸。解吸后的吸收剂经过溶剂冷凝器冷凝后回到吸收塔。解吸出的VOCs气体经过冷凝器、气液分离器后以较纯的VOCs气体离开汽提塔，低温催化燃烧设备，被回收利用。
山东催化燃烧设备主要是利用催化剂来改变反应条件以达到在较低条件下去除有机物的净化装置，催化净化装置内的发生的气-固相催化反应的实质是活性氧参与的浓度氧化作用。在催化净化剂用来降低化学反应的活化能，使反应条件更有利于所能控制的条件。借助催化剂的作用使用废气在较低的起燃温度条件下，发生无焰燃烧，并将其氧化分解为无害的CO2和H20同时放出大量的热能，从而达到去除废气中的**物质的目的。
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