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净化

洁净实验室的整体布局设计

洁净实验室的平面和空间设计，应将洁净实验区和人员净化、设备材料净化和其他辅助用房进行分区布置。同时应考虑实验操作、工艺设备安装和维修、气流**型式、管线布置以及净化空气调节系统等各种技术设施的综合协调效果。

实验室内各种固定技术设施(如送风口、照明器、回风口、各种管线等)的布置，宜首先考虑净化空气调节系统的要求。

洁净室空气洁净度等级的检验，验收时应以动态条件下测试的尘粒数为依据。对于空气洁净度为5级的洁净室内大于等于5微米尘粒的计算应进行多次采样。当其多次出现时，方可认为该测试数值是可靠的。

确定洁净实验室空气洁净度等级时，首先要满足实验内容和实验仪器设施对空气洁净度的要求，净化实验室施工，然后还要根据实验操作步骤和实验程序布局综合考虑各个实验区域的不同净化等级要求，从而做到既满足净化要求又节约成本支出。

实验室净化工程的原理和作用：控制产品(如硅芯片等)所接触大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。　　实验室净化工程分类：　　一、净化工程乱流式　　空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净工程室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1，000-100，000级。　　优点：构造简单、系统建造成本低，洁净室的扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。　　缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。　　二、净化层流式　　层流式空气气流运动成一均匀之直线型，净化实验室公司，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风。此型式适用于洁净室等级需定较高的环境使用，一般其洁净室等级为Class1~100。其型式可分为二种：　　(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。　　优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。　　缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。　　(2)垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，净化实验室工程，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。　　优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，净化实验室，不易为作业状态或作业人员所影响。　　缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。

洁净实验室的空气净化调节系统

一般情况下，5级、6级洁净区控制温度为20℃～24℃，相对湿度为45%～65%;7级、大于7级洁净区控制温度为18℃～28℃，相对湿度为50%～65%。对洁净室温、湿度无特殊要求时，温度应控制在18℃～26℃，相对湿度控制在45%～65%。

此外，空气气流速度、送风量和新风量要符合净化室实验设施和人员的要求。因为净化实验室是一个相对**密闭的空间，在保持温度、湿度、空气流速流量的同时，还要采取措施补偿室内排风和保持室内正压（或负压）值所需的新鲜空气量

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