







真空镀膜的膜层厚度如何测量?
在使用真空镀膜机镀膜之后,为了需要可能会要测量膜层的厚度,测量膜层的厚度用什么方法呢?
直接的镀膜控制方法是石英晶体微量平衡法(QCM),这种仪器可以直接驱动蒸发源,通过PID控制循环驱动挡板,保持蒸发速率。
只要将仪器与系统控制软件相连接,它就可以控制整个的镀膜过程。但是(QCM)的精准度是有限的,部分原因是由于它监控的是被镀膜的质量而不是其光学厚度。
此外虽然QCM在较低温度下非常稳定,但温度较高时,它会变得对温度非常敏感。在长时间的加热过程中,很难阻止传感器跌入这个敏感区域,从而对膜层造成重大误差。
光学监控是高精密镀膜的的优选监控方式,这是因为它可以更精准地控制膜层厚度(如果运用得当)。
精准度的改进源于很多因素,但根本的原因是对光学厚度的监控。
新型磁控溅射真空镀膜机镀膜工艺
磁控溅射真空镀膜机镀膜工艺在镀膜行业无处不在,只要说到镀膜技术,大家都会立刻想到磁控镀膜工艺,磁控溅射真空镀膜机也受到了各大厂家的追捧,磁控溅射镀膜工艺更是受到大家的喜爱,今天至成小编为大家介绍一下磁控溅射镀膜机镀膜工艺。
其实从一般的金属靶材溅射、反应溅射、偏压溅射等,伴随着工业需求及新型磁控溅射技术的出现,低压溅射、高速沉积、自支撑溅射沉积、多重表面工程以及脉冲溅射等新型工艺成为目前该领域的发展趋势。低压溅射的关键问题是在低压(一般是指<011Pa)下,电子与气体原子的碰撞几率降低,在常规磁控溅射技术中不足以维持靶材表面的辉光放电,导致溅射沉积无法继续进行。通过优化磁场设计,使得电子空间运动距离延长,非平衡磁控溅射技术可以实现在10-2Pa等级的真空下进行溅射沉积。另外,通过外加电磁场约束电子运动可以实现更低压强下的溅射沉积。进行高速沉积可以极大的提高工作效率、减少工作气体消耗以及获得新型膜层。实现高速沉积主要需要解决的问题是在提高靶材电流密度的同时,不会产生弧光放电;由于功率密度的提高,靶材、衬底的冷却能力需要相应提高等。目前,已经实现了靶材功率密度超过100W/cm2,沉积速率超过1μm/min。
多弧磁控溅射多功能离子镀膜设备
多弧磁控溅射多功能离子镀膜备可在金属或非金属的表面镀制硬质增寿腊、装饰腊、合金膜或多层腊,可广泛用于刀刃、模具、钟表、首饰、灯具、建筑五金及装饰用彩色钢板、眼镜架、电子产品、器械、仪器仪表等领域。
多弧磁控溅射多功能离子镀膜设备在真空条件下采用物**相沉积技术,在基片上镀制氮化钛及其它薄膜。它将多弧离子镀技术、柱形靶及磁控油射离子镀技术有机结合在一起,可单独使用或同时使用,制取含有连续过渡层的各种膜层。
多弧磁控溅射多功能离子镀膜设备制造简单,使用方便,运行成本低无污染,经济效益高。其双真空室可交替工作,能提高工效一倍,大大节省**。
