





湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),**制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
磁控靶的阴极接靶电源负极,阳极接靶电源正极,进入正常溅射时,一定是在气体放电伏-安特性曲线中的“异常辉光放电区段”?运行。其特点是,随着调节电源输出的磁控靶工作电压的增加,溅射电流也应同步缓慢上升
湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),**制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
当交流电压的频率较低(50HZ~5KHZ)时,工作气体起辉点火电压与直流放电时基本相同。当电压的频率增加到中频时,起辉点火电压比用纯直流靶电源时降低很多。??双极性脉冲中频靶电源,根据有无“串联电压调整”电路有分为“工艺型”和“经济型”两种。?
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法国的Massines小组、加拿大的Radu小组和俄罗斯的Golubovskii小组对APGD的形成机理也进行了比较深入的研究工作。Massines小组对氦气和氮气的APGD进行了实验研究和数值模拟 ,除了测量外加电压和放电电流之外,他们用**时间仅10ns的ICCD相机拍摄了时间分辨的放电图像,用时空分辨的光谱测量记录了放电等离子体的发射光谱,并结合放电过程的一维数值模拟,辉光离子渗氮,他们认为,氮气中的均匀放电仍属于汤森放电,而氦气中均匀放电才是真正意义上的辉光放电,或亚辉光放电。他们还认为,得到大气压下均匀放电的关键是在较低电场下缓慢发展大量的电子雪崩。
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