







真空镀膜机设备真空镀膜机系统特点
真空镀膜机在等离子体束溅射中,溅射离子均匀刻蚀靶面,并且不会使靶面产生氧化。与磁控溅射相比,其中的等离子体束是由射频等离子体源产生的,磁场的作用则是使等离子体束会聚并偏转至靶面,因此,虽然等离子体束溅射镀膜系统内也有磁场,但其磁场却并不控制影响溅射,这也摒弃了磁控溅射中由磁场不均匀带来的“磁控”的缺点。在溅射完成后,所得的靶材利用率可高达90%以上。
真空镀膜机即分别进行磁控溅射和等离子体束溅射之后靶面刻蚀的对比图。由于靶材的利用率大幅度提高,也解决了磁控溅射中所难以克服的缺点,即靶中的毒导致的刻蚀不均匀
真空镀膜机此外,磁控溅射由于背面磁铁磁场不均匀而产生溅射跑道,非磁场约束区很容易产生氧化,因此很难沉积铁磁性材料,而等离子体束溅射中由于不用磁铁作为等离子体约束,能够进行铁磁性材料的镀膜,并且可以使用很厚的靶材,图3中实验金属钴的厚度即为6mm。对于铁、镍、铬以及铁磁性化合物,等离子体束溅射也都具有很高的溅射速率。
应用该项镀膜技术的系统还有一个优点,当将电磁线圈的极性反接时,由于磁场的方向产生了变化,等离子体束会在磁场的作用下轰击基片,从而对基片产生清洗作用,如图4所示。这实际上可以使得应用该项技术的镀膜机省略常规镀膜机的清洗用离子源。
光学镀膜机电子枪打火问题是怎么引起的,该如何减少次数呢?
很多人对光学镀膜机电子枪打火问题很疑惑,不知道是什么原因产生的,也不知道该如何减少这种情况的发生,今天至成真空小编为大家讲解一下光学镀膜机电子枪打火问题是怎么引起的?
电子枪在蒸镀时,由于电子束中的电子与气体分子和蒸发材料的蒸汽发生碰撞产生的离子轰击带负电高压电极及其引线,即产生打火。另外,若这些带负高压电的部分有尘粒等杂物,会使该处电场集中了容易打火。故电子束蒸镀设备的高压电源都附有高压自动灭弧复位装置,在打火非常严重时才会自动切断高压,然后又自动**,切断与**的时间愈短,愈不会影响蒸镀工艺。
那么,在安装和使用的过程中,该如何才能减少打火次数。首先、高压引线应尽量短,并用接地良好的不锈钢板屏蔽住,不要追求美观把引线弯来弯去。然后,枪头金属件和引线定期用细砂纸打光,然后清洗干净。上螺钉的螺孔定期用丝锥攻螺孔,以便螺钉上下方便并保证压的很紧。接着,所有陶瓷件污染后应予更换。电子枪体应可靠接地。对放气量大的材料应充分预热以彻底除气。蒸镀时功率要合适,不可过高造成材料飞溅。高压馈线与高压绝缘子金属件的接线一定要可靠并经常检查,以免增大接触电阻造成发热而烧坏。蒸发档板应高于蒸发源70mm.1
真空镀膜设备多弧离子镀膜工艺不仅避免了传统表面处理的不足,且各项技术指标都优于传统工艺,在五金、机械、化工、模具、电子、仪器等领域有广泛应用。催化液和传统处理工艺相比,在技术上有哪些创新?
1、多弧离子镀膜不用电、降低了成本、成本仅为多弧离子镀膜镍的二分之一,真空镀膜机多弧离子镀膜铬的三分之一,不锈钢的四分之一,可反复利用,大大降低了成本。
2、多弧离子镀膜易操作、工艺简单、把金属基件浸入兑好的液体中“一泡即成”,需要再加工时不经任何处理。
3、多弧离子镀膜无污染,**无味,无三废排放,属**环保产品技术。
4、多弧离子镀膜好处理、使用方便;形状复杂的金属基件都能处理。
5、多弧离子镀膜硬度大,硬度增强、催化液泡过的金属基件硬度是多弧离子镀膜工艺的几倍。
6、多弧离子镀膜不会生锈,催化液浸泡过的金属基件已渗透表皮里面,不起皮、不脱落。
