真空镀膜设备如何选配真空泵部件
一、在选真空泵时，首先要注意真空泵在工作时产生的振动对工艺和环境是不是存在着影响，如果工艺过程受到影响，应该采取防振措施或者另选真空泵。在选择的时候需要了解待抽气体的成分，如果需要选择性的抽气，一种泵可能不足以满足要求，必须组合多种不同的泵互相配合工作，如果真空镀膜设备镀膜要求无油则要选用无油泵。
二、真空泵的价格和维修费用也是我们考虑的**之一。
三、真空镀膜设备对于真空度的极限要求和工作压力强度要求越来越大，对真空泵的抽真空能力要求就越高，起码泵的极限抽真空度要高于真空设备工作真空度的半个数量级以上。每种泵都有一定的工作压强范围，譬如像扩散泵的压强为3~10-7mmHg，其稳定工作压强范围为5*10-4~5*10-6mmHg，那么使用扩散泵就不能让其在未定工作压强范围之外工作。
四、当泵需要的气体压力不高或所需的真空度不高的时候，可优先在单级泵中进行选择，度过排气压力或真空度的要求比较高，单击泵往往不可以满足要求，可以选择使用两级泵或者多级泵。
真空镀膜机的全新发展真空泵与隔膜泵机械密封的安装与使用
真空镀膜机的发展相当迅速，随着生产率的提高，生产费用大大降低，已经为真空镀膜产品的普遍使用铺平了道路。
以卷绕式真空镀膜机为例，刚开发时可镀的薄膜基材宽度是150mm，目前已达2253mm。基材卷筒的大卷径是1000mm，大卷绕速度750m/min。自动装卸的半连续卷绕式真空镀膜机镀膜时间占整个周期的75%，辅助操作时间只占25%。随着计测技术、控制技术的进步和电子计算机的应用，卷绕式真空镀膜机正向着高度自动化和高度可靠性的方向发展。
真空镀膜机真空镀膜机能够沉积的镀膜层厚度范围为0.01-0.2，可以在这个范围内选择，有的还可以镀多层膜，满足多种需要。日本专利提出沉积两种不同镀膜材料的卷绕式蒸镀装置。该装置的真空室分为上室，左下室和右下室。蒸镀时，两组蒸发源蒸发的镀膜材料分别沉积在塑料薄膜上，在塑料薄膜没有蒸镀的一侧，装上辉光放电发生器。发生器产生的辉光放电气体能防止塑料薄膜起皱。使用这套装置可以在极薄的塑料薄膜上镀上无折皱的多层膜，用于制磁带和薄膜太阳能电池等。
给真空镀膜设备的真空泵换油该怎么做？
在使用真空镀膜设备时，对机器的**工作是十分重要的。他能有效提高机器的寿命，那么对于其中的真空泵的换油工作，究竟该如何呢？我们通常在机器工作3个月时间左右，就要对机器的油进行更换，在比较湿润的地方或者湿润的气候，这种地方的空气对于真空泵中的润滑油的污染是非常严重的，所以我们要根据情况缩短更换润滑油的时间。现在我就为您介绍下关于真空泵换油的操作。
我们首先要做的就是把真空泵从真空电镀系统中拆出来。将底盘电机一端垫高些，打开放油塞放油，转动真空泵、捂住排气口，使腔内污油全部从放油口放出。再从进气口处加入新油100—500ml持续转动5—10转以上，对内部进行清洗。照此操作3—5次，等到污油放清后，再装上放油塞，将真空泵放平从进气口及加油孔分别加入新油，换油即告完毕。真空泵换油的是不适宜长久的开动电机，以避免使排气阀片跳动太过于剧烈和疲劳。严禁使用煤油、酒精等对泵作非拆卸的清洗。
