KOAN 石英晶体微天平 QCM 和 和 QCM-D 与 与 MEMS 技术结合
MEMS 即微机电系统（Microelectro Mechanical Systems），是 MEMS 传感器在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、**等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。
MEMS 传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。
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耗散型 KOAN 石英晶体微天平(QCM-D) 多功能应用介绍
越来越多的具有不同功能表面的芯片被用于生物材料、环境科学、石油、表面清洁剂、涂料等领域，用以检测表面所发生的吸附、解吸、交联、溶胀、降解等化学物理反应。使用 AT 切割方法使得制备的石英晶体芯片具有频率高（500K~350M Hz）、压电活力高、温宽范围内频率温度特性好等优点，KOAN晶体， 而表面不同的涂层可以使得 QCM-D 技术应用到更多的领域。具有对气体选择性吸附的涂层可以被使用到特殊气体检测。
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QCM晶体
QCM(Quartz Crystal microbalance) 是指石英晶体微天平，KOAN 推出的QCM晶体是指用于石英晶体微天平的石英晶片。它利用了石英晶体的压电效应，通过检测输出频率的变化量。使用计算机等其它的辅助设备获得精度较高的数据，推算出附着在QCM晶体表面微小物质的质量，其敏零度为0.001mg，KOAN晶体品牌， 是一般电子微天平精度的100倍以上。
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