真空磁控溅射镀膜机的维护**及安全工作措施
真空卷绕镀膜机的维护**及安全工作措施如下：
1、设备接地必须可靠，并经常检查接地装置导电作用。
2、扩散泵和油增压泵在加热情况下，切勿与大气接触，以免泵油氧化。
3、定期检查和调整水流继电器，检查断水报警是否正常，保证设备冷却水供水畅通。
4、扩散泵和油增压泵加热前必须接通冷却水，泵停止工作，但泵内未冷却至80℃以下时，不得切断冷却水，以防止泵芯烧毁。
5、镀膜工作前必须接通全部设备冷却水，以防止电极和基材烧毁。
6、在拆装设备各零部件时，应注意保护各密封工作面不受机械划伤或损伤，以保证设备密封性能可靠。
7、设备各传动转轴真空密封处均采用“骨架式油封”密封形式，骨架式油封内腔均充以润滑油。使用一段时间就会损耗，必须以相同的润滑油充入。
8、经常检查罗茨泵和滑阀泵的存油量，并定期予以补充。同时按其说明书的要求进行维护**。
9、定期检查各行程开关控制器，保证各工作部件处于正常工作状态。
10、每天应对滑阀泵和气源进行排水。
11、定期检查各减速器的储油量及油质。
真空镀膜设备需要的环境要求
真空镀膜设备需要的环境要求真空镀膜设备要在真空条件下工作，因此该设备要满足真空对环境的要求。真空对环境的要求，一般包括真空设备对所处实验室（或车间）的温度、空气中的微粒等周围环境的要求，和对处于真空状态或真空中的零件或表面要求两个方面。这两个方面是有密切联系的。周围环境的好坏直接影响真空设备的正常使用；而真空设备的真空室或装入里面的零件是否清洗，又直接影响设备的性能。如果空气中含有大量的水蒸气和灰尘，在真空室没有经过清洗的情况下用油封机械泵去抽气，要达到预期的真空度很难的。众所周，油封式机械泵不宜抽除对金属有腐蚀性、对真空油其反应的以含有颗粒尘埃的气体。水蒸气为可凝性气体，当大量抽除可凝性气体时，对泵油的污染会更加严重，结果使泵的极限真空下降，*坏了泵的抽气性能。
真空镀膜设备的运用
真空镀膜设备运用于电子职业中及其广泛：有通明导电膜，在玻璃，聚酯等基体上，真空镀膜上氧化銦，薄膜，就可完成即通明又导电的功用。可用于显现电报、平面照相电极，观念效应记载资料等方面。导电加热膜，在玻璃灯基体上的局部框线真空镀膜设备已铬或镍合金，接通电源，就能够完成加热功用，用以清除因温差带来的水蒸气灯。
真空镀膜设备是一门具有开展前景的运用技能，真空镀膜设备必定系列别的技能不行取代的优良特色：不受镀膜元件的资料及现状的影响。镀膜的厚度能够操控，通常为十几分或百分之几微米：因而，真空镀膜设备被广泛运用于电子设备，地理仪器，外表等各职业。