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空气应用浓度：
作为空气除味与杀菌，要求臭氧浓度较低，工业高压蒸汽清洗机，如0.25ppm（0.5mg/m3），而物品表面消毒（灭微生物和去除化学污染）则要求提高几十倍的臭氧浓度。
空气应用臭氧浓度一般在1mg/m3～10mg/m3之间。温度低，湿度大则杀灭效果好，家用高压蒸汽清洗机，尤其是湿度，抽油烟机高压蒸汽清洗机，相对湿度小于45%，臭氧对空气中悬浮微生物几乎没有杀灭作用。在60%时才逐渐增强，在95%时达到值。
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