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●无尘车间洁净隧道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将生产区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员的工作区与产品和机器维修予以隔离，净化实验室施工，以避免机器维修时影响了工作及品质，超大规模集成电路生产大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：弹性扩充容易、维修设备时可在维修区轻易执行。

●无尘车间洁净管道(CleanTube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量的送风即可得到良好的洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线适宜使用。**、食品及半导体均适用。

●无尘车间并装局部无尘室(CleanSpot)：将乱流无尘室内的产品生产区的洁净度等级提高为10~1000级以上，为生产用。

无尘室的应用标准若想检验无尘室是否达到应用标准，大家可以先从遮蔽率；风速、温湿度；压差、构成要求这四个方面考虑：遮蔽率AirChange：FFU的表面积*风速*FFU数量/无尘室体积HEPA遮蔽率：FFU的表面积*FFU数量/无尘室面积风速、温湿度气流速度为：0.3-0.5m/s（60-100ft/min）一般温度控制范围：T=（21±2）℃一般湿度控制范围：（45±5）%RH压差在两个无尘室间合理的设计压力差应为10Pa，而在无尘室和未确认洁净等级的区域应保持有15Pa的压力差。当产生这些压力差有实际困难时，维持5Pa的小压力差是可以接受的。 次数用完API KEY 超过次数限制

洁净室标准尘埃粒子计数器注意事项1、当入口管被盖住或被堵塞，不要启动计数仪

2、激光尘埃粒子计数器应该在洁净环境下使用，以防止对激光传感器的损伤

3、不要测有可能产生反应的混合气体（如氢气和氧气）。这此气体也可能在计数器内产生。测这些气体需与厂家联系为取得更多的信息。

4、没有高压减压设备（如高压扩散器）不要取样压缩空气，所有的颗粒计数仪被设计用于在一个大气压下操作。

5、水，溶液或其它液体都不能从入口管进入传感器。

6、颗粒计数仪主要用来测试净化车间干净的环境，当测的地方有松散颗粒的材质，丽水净化实验室，灰尘源，净化实验室工程，喷雾处时，须少保持距进口管至少十二英寸远。以免以上的颗粒及液体污染传感器及管路。

7、取样时，避免取样从计数器本身排出来的或被计数器出来的气体所污染的气体。

8、在连接外置打印机或连接外接温湿度传感器时，需先关掉计数器；当执行打印操作时，净化实验室价格，打印机上须有打印纸，否则会损伤打印头。

其型式可分为二种：

无尘车间水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁的回风系统回风，埃随风向排出室外，一般下流侧污染较严重。优点：构造简单，运转后短时间内即可变稳定。缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。

无尘车间垂直层流式：房间天花板完全用ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可获得较高的洁净度，在生产中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外并不会影响其它工作区域。

优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易受作业状态或作业人员所影响。

缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板的吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。复合式(MixedType)：复合式是将乱流式及层流式予以复合并用，可提供局部超洁净空气。

无尘车间洁净隧道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将生产区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员的工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，超大规模集成电路生产大都采用此种型式。

洁净隧道另有二项优点：弹性扩充容易、维修设备时可在维修区轻易执行。 次数用完API KEY 超过次数限制