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保护系统,故障停泵的瞬间,水环真空泵入口和系统连接处是真空状态,湖北水环式真空泵多少钱,泵的出口一般与大气相通,压力会将水压入系统*坏系统真空,湖北水环式真空泵批发,为保护系统通常会在泵的入口和系统连接处加装止回阀。
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有效稀释**气体的浓度:
半导体易产生前面所说的、**的**气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物质,在与空气或氧接触的时候,会引起燃烧甚至;氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。因此半导体真空泵在抽取这些介质时,湖北水环式真空泵,需要用氮气之类的惰性气体,在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。
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