2.4.氮气置换方法:
其管线氮气置换作业如下:
(1)?置换步骤如下:一般可用10Mpa的氮气进行置换，置换至区所有容器内氧气的含量低于1%。具体步骤:用10Mpa的氮气气源进行置换;用氮气从管道进气口接入把区所有储存容器及连接管道加压至300—400Kpa;
(2)?通过进气口注入氮气后，打开排空阀，使容器管道内压力减小至50Kpa以下;一般重复3-4次直至所有容器、管线中氧气的含量低于1%。
(3)?排放时排放口附近不允许人员靠近(因氮气是惰性气体有窒息**)。
(4)在设备或管线使用后，若因维修需再拆卸时，亦应进行氮气置换，其方式如上述，或可使用低压连续氮气置换方式。此时之氮气置换以不致危害人员为原则。使用上述方式加压氮气置换时，至少应两次，修复后再行注入前，亦同上述进行氮气置换程序。氮气置换后氮气排放至主管线上之排空阀排放。
(5)依照氮气置换流程向系统引入N2以约0.02MPa/分钟速度升压至〉0.3?MPa，然后缓慢泄压至0.05MPa。
(6)每次氮气置换泄压后在氮气吹扫口采样分析氧含量，如果合格，则氮气置换结束。
(7)燃气改造工程氮气置换所需要的氮气约折40L?10MPa氮气70瓶/次，按2次置换准备共约140瓶。
备注:氮气置换完成后(注前)所有阀门及设备禁止操作
3.其他说明
1.?本方案由气体有限公司操作、实施。
2.?在本项工作置换期间，管道置换范围内所有设备禁止运行，保持自然通风。
**气体的特别事项
作为半导体晶圆代工厂气体的使用者，每一位工作人员都应该在使用前对各种**气体的安全数据加以了解，并且应该知道如何应对这些气体外泄时的紧急处理程序。一般来讲，我们将有三重保障来防范万一有意外发生的**气体外泄进入到工作环境中。一个是特种气体的气瓶以及全部经过正负压测漏的气体输送管路；第二个是持续不断的排气抽风系统（Exhaust），管道 氮气置换，管路节点如气瓶柜、VMB、工作台等均具有很强排气抽风系统，以确保每一管路节点外围都处于负压环境。若发生微量的**气体的泄漏，排气抽风系统将******时间抽出；另外一个很重要的是处于抽风口或环境点的毒性气体侦测器系统，管道氮气置换，若发生任何**气体的泄漏将会被气体侦测系统所侦测到，这个控制系统将根据气体外泄对**危害的大小来确定整个气体输送系统的相关互锁动作，严重时紧急关闭上游所有气源，同时会驱动**控制室和现场的相关报警系统LAU，甚至会驱动全厂的自动语音广播系统通知立即疏散，要求相关人员迅速撤离报警区域。因此只要工程技术人员严格按照所制定的标准作业程序操作，天燃气管道氮气置换，所有这些安全装置都将确保人员不会有安全上的顾虑。
管道所用材质取决于使用工况。
两方面
1，氮气温度和压力:如果是常温氮气瓶，那就不考虑温度了，燃气管道氮气置换，如果是液态氮汽化后的气体，需要考虑进口温度和天气状况，这个控制的不是那么精准，会有误差。另外就是压力:pe管材承受压力范围我不清楚，但肯定不如无缝钢管，常温氮气瓶压力很高的。
2，使用工况，这个管子在什么环境下使用？设计使用年限？承重吗？潮湿吗？对卫生有要求吗？等等。
综合来说不锈钢无缝管基本在各个方面都比pe管有优势，缺点也很明显就是价格贵，不过一般都是使304材质不锈钢管作为气体传输管道。耐压，耐低温，耐一定高温。
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