真空镀膜设备我们可能见到的有很多，如真空镀膜机等等，这里为大家介绍一种概述电磁屏蔽膜专用真空镀膜设备，具体如下：
电磁屏蔽膜专用真空镀膜设备是在手机、笔记本电脑、电话机、DVD等电子产品塑胶外壳表面上镀制电磁屏蔽（EMI）薄膜的专用设备。该设备利用等离子体表面处理技术，并采用真空蒸发和磁控溅射镀膜工艺相结合，以真空蒸发镀Ag、Cu，以磁控溅射镀Ni/Cr不锈钢，可实现不同电阻要求的EMI镀膜。
电磁屏蔽（EMI）膜专用真空镀膜设备特点及基本参数：
1.有卧式、立式结构，可实现单面同时镀膜；
2.生产效率,快速度达1分钟/节拍；
3.模组化设，维护方便；
4.镀膜工艺成熟，成品率高；
5.直流磁控溅射阴极可随客户要求选择；
6.真空系统由机械泵、罗茨泵、扩散泵组成；
7.大尺寸；2200mm*1200mm(长*宽)；
8.小尺寸；500mm*400mm(长*宽)。
真空计是真空磁控溅射镀膜机器上有什么作用
真空计：真空计是真空磁控溅射镀膜机器上的重要组成部分，它是检测镀膜机真空度的重要手段。真空计根据其工作原理可以分为真空计和相对真空计，真空计可以直接测量压强的高低，相对真空计只能间接测量真空度。蒸发系统主要指成膜装置部分，镀膜机器的成膜装置很多，有电阻加热、电子枪蒸发、磁控溅射、射频溅射、离子镀等多种方式，鄙人就电阻加热和电子枪蒸发两种方式作介绍，因为此两种方式我应用的比较多。电子束蒸发的大优点在于：电子束的光斑可以随意调整，可以一枪多用，灯丝可以隐藏，避免污染，可以蒸发任意镀膜材料，维修方便，蒸发速度可以随意控制，材料分解小，膜密度高。机械强度好。成膜控制系统，薄膜监控目前应用方式比较多，主要有：目视监控法，定（极值）值监控、水晶振荡监控、时间监控等等。本人主要介绍目视监控、定（极值）监控和水晶振荡监控三种。目视监控也叫直接监控，就是采用眼睛监控，因为薄膜在生长的过程中，由于干涉现象会有颜色变化，我们就是根据颜色变化来控制膜厚度的，此种方式有一定的误差，所以不是很准确，需要依靠经验。
如何提高为了提高机器的镀层厚度的均匀性
为了提高机器的镀层厚度的均匀性，真空室内的镀件夹具有行星机构或自转加公转的运动装置，如用行星运动方式，这种运动方式成膜均匀性好，台阶覆盖性能良好，镀件装载量大，可以充分利用真空镀膜室的有效空间，是目前经常采用的运动方式。为了提高抽气速率，可在机械泵和扩散泵之间加机械增压泵。因此，排气系统既要求在较短的时间内获得低气压以保证快速的工作循环。