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透明基板1、透明玻璃 。石英玻璃（Quartz Glass）苏打玻璃（Soda-lime Glass）低膨胀玻璃（Low Expansion Glass）2、透明树脂遮光膜（1）硬质遮光膜：铬膜氧化铁硅化钼硅。（2）乳胶。
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光掩膜一般也称光罩，是微电子制造中光刻工艺所使用的图形母版，制版，由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形，并通过**将图形转印到产品基板上。光掩膜主要由两部分组成：基板和不透光材料。
作为半导体、液晶显示器制造过程中转移电路图形“底片”的高精密工具，光掩膜是半导体制程中非常关键的一环。
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光致抗蚀剂也被称为光致抗蚀剂。掩模板上的图案被转移到晶片表面顶层的光致抗蚀剂上，并且在后续工艺中保护下面的材料(蚀刻或离子注入)。光致抗蚀剂由光敏树脂、光引发剂、添加剂、溶剂等组成。其中，光敏树脂是光刻胶的关键成分。
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