UV废气处理是通过紫外线光照技术将废气中的氧气分解为臭氧，利用臭氧与废气进行反应，将气体物质进行降解，再利用高能的UV光束裂解**的分子间，达到杀菌的目的。还降解技术成本低廉，运行稳定可靠，无需专人看护，但在废气处理的速度上较慢，相比低温等离子技术效率偏低。
低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，废气工程治理，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被迅速击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。 低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。(注：低温等离子体相对于高温等离子体而言，属于常温运行。) 等离子体反应区富含极高的物质，苏州废气工程，如高能电子、离子、自由基和激发态分子等，废气中的污染物质可与这些具有较高能量的物质发生反应，使污染物质在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到讲解污染物的目的。与传统的电晕放电形式产生的低温等离子技术相比较，废气工程设备，等离子体技术放电密度是电晕放电的1500倍，这就是传统低温等离子体技术治理工业废气99%以失败而告终的原因。
RTO蓄热式焚烧炉
排放自工艺含VOCs的废气进入双槽RTO，三向切换风阀将此废气导入RTO的蓄热槽而预热此废气，含污染的废气被蓄热陶块渐渐地加热后进入燃烧室，VOCs在燃烧室被氧化而放出热能于第二蓄热槽中之陶块，用以减少辅助燃料的消耗。陶块被加热，燃烧氧化后的干净气体逐渐降低温度，因此出口温度略高于RTO入口温度。三向切换风阀切换改变RTO出口/入口温度。如果VOCs浓度够高，废气工程处理，所放出的热能足够时，RTO即不需燃料。例如RTO热回收效率为95%时，RTO出口仅较入口温度高25℃而已。
喷雾塔，又称喷淋塔。塔内无填料或塔板，但却设置有喷嘴的吸收塔。液体由塔顶进入，经过喷嘴被喷成雾状或雨滴状；气体由塔下部进入，与雾状或雨滴状的液体密切接触进行传质．使气体中易溶组分被吸收。结构简单，不易被堵塞，阻力小，操作维修方便喷雾塔（喷淋塔）是用于气体吸收i 简单的设备，在喷淋塔内，液体呈分散相，气体为连续相，一般气液比较小，适用于极快或快速化学反应的吸收过程。一个喷雾塔包括一个空塔和一套喷淋液体的喷嘴。其结构如图5—7所示。一般情况下，气体由塔底进入，经气体分布系统均匀分布后向上穿过整个设备。而同时由一级或多级喷嘴喷淋液体，气体与液滴逆流接触，净化后气体除雾后从塔顶排出。。
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