作为半导体晶圆代工厂气体的使用者，每一位工作人员都应该在使用前对各种**气体的安全数据加以了解，并且应该知道如何应对这些气体外泄时的紧急处理程序。一般来讲，我们将有三重保障来防范万一有意外发生的**气体外泄进入到工作环境中。一个是特种气体的气瓶以及全部经过正负压测漏的气体输送管路；第二个是持续不断的排气抽风系统（Exhaust），管路节点如气瓶柜、VMB、工作台等均具有很强排气抽风系统，以确保每一管路节点外围都处于负压环境。若发生微量的**气体的泄漏，排气抽风系统将******时间抽出；另外一个很重要的是处于抽风口或环境点的毒性气体侦测器系统，若发生任何**气体的泄漏将会被气体侦测系统所侦测到，这个控制系统将根据气体外泄对**危害的大小来确定整个气体输送系统的相关互锁动作，严重时紧急关闭上游所有气源，同时会驱动**控制室和现场的相关报警系统LAU，甚至会驱动全厂的自动语音广播系统通知立即疏散，要求相关人员迅速撤离报警区域。因此只要工程技术人员严格按照所制定的标准作业程序操作，所有这些安全装置都将确保人员不会有安全上的顾虑。
然气管道氮气置换
管道使用前必须充入百氮气置换。
的主要成分是，具有可燃性，管道氮气置换，与氧气或空气混合时点燃有可能会发生。在空气中的极限下限为5%，上限为15%。
在没有通气体之前，管道里是空气，如果不用氮气置度换，通入可燃气体，管道氮气置换方案，可燃气体和空气混合，形成的混合气体具有性，浓度达到一定的范围，遇到火星或者流动中产生静电，就发生。
管道用氮气置换原理
一是氮气便宜，二内是与空气成分相对接近。氮气在空气中占78%左右，所以分离得到氮气非常便宜，而且氮气不活泼，通常情况下和可燃物一起不燃烧。
用氮气作为与空气间的隔容离介质，投产时推动氮气、氮气推动空气进行管道线路置换，从而使管道达到顺利投产条件。
1 升压过程中氮气浓度对置换安全性的影响
为提高管道置换氮气的安全性，待氮气置换完成
后，施工人员应对管道进行升压，终完成氮气置换的过程。在
此过程中，如管道发生**，导致管道中的氮气浓度下降，容易
导致“窒息”等**发生。此外，如管道超压，则可引发爆管。根
据《氮气使用安全管理规范》的要求，升压的过程中，施工人员
需对氮气对施工人员的危害、氮气排放区域等因素进行评估。
如未进行评估便着手施工，因氮气浓度不合理所导致的风险则
较容易发生。
3.2 升压过程险的预防
升压过程中，管道氮气置换，施工人员应加强防护，燃气管道氮气置换方案，严格控制速度，提高风
险预防水平 ：(1) 加强防护 ：施工人员应穿戴好防护用品，确保
氮气浓度过高时，能过实现对自身安全的保护。(2) 控制速度 ：
为避免管道中的氮气发生**，导致氮气浓度降低，应将置换
速度控制在3m/s 至6m/s 之间，减少安全隐患。(3) 加强巡查：施
工人员应加强巡查，一旦发现漏点，需立即停止作业并予以处
理，确保管道中的氮气浓度达标。
4 结语
综上所述，管道置换氮气的过程中，氮气体积占混
合气体体积的比例应＞98%。置换的过程中，施工人员应穿戴
好防护用品，将注入速度控制在3 ～5m/s，将注氮温度控制在
5 ～15℃。在此基础上，加强巡查、清除明火，提高氮气注入的
安全性，提高置换过程的安全性。
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