真空磁控溅射镀膜机机械泵的分类
1.机械泵的分类：机械泵有很多种，常用的有滑阀式(此首要使用于大型设备)、活塞往复式、定片式和旋片式(此现在使用广泛，这篇文章首要介绍)四种类型。
2.机械泵是从大气开端作业的，它的首要参数有极限真空，抽气速率，此为规划与选用机械泵的重要依据。单级泵能够将容器从大气抽到1.0*10-1PA的极限真空，双级机械泵能够将容器从大气抽到6.7*10-2帕，甚至更高。
抽气速率，是指旋片泵按额外转数工作时，单位时间内所能排出气体的体积，能够用下公式核算：Sth=2nVs=2nfsLfs表明吸气完毕时空腔截面积，L表明空腔长度，系数表明转子每旋转一星期有两次排气进程，Vs表明当转子处于水平位置的时分，吸气完毕，此刻空腔内的体积大，转速为n。
机械泵排气的效果还与电机的转速及皮带的松紧度有联系，当电机的皮带比较松，电机转速很慢的时分，机械泵的排气效果也会变差，所以要常常养护，点检，机械泵油的密封效果也需求常常点检，油过少，达不到密封效果，泵内会漏气，油过多，把吸气孔阻塞，无法吸气和排气，通常，在油位在线下0.5厘米即可。
3.机械泵常常被用来抽除枯燥的空气，但不能抽除含氧量过高、有性和腐蚀性的气体，机械泵通常被用来抽除性的气体，但是对水气没有好的效果，所以它不能抽除水气。
旋片泵中起首要效果的部件是定子、转子等，转子在定子里面但与定子不一样心轴，象两个内切圆，转子槽内装有两片弹片，两弹片中心装有绷簧，确保了弹片紧紧贴在定子的内壁。
真空磁控溅射镀膜机的电气控制系统介绍
真空磁控溅射镀膜机的电气控制系统按位置分为控制柜、变压器组和操作台三个主要部分。设备所有功能的控制元器件包括可编程PLC、变频器、调压模块等都装在控制柜里，控制柜的正面安装有电阻、电离复合真空计，安装有增压泵、扩散泵的加热电流表以及三相电源的指示灯、报警指示灯、紧急停止开关。
变压器组安装在真空罐的下面，其输出端正极直接与对应的蒸发电极棒连接，输出端负极并接后再与蒸发负极连接。
操作台安放在真空罐的前方、观察窗的下方，触摸屏、各部件的操作控制按钮、旋钮或开关都设在操作台的面板上。
触摸屏位于操作面板的左上部，卷绕系统参数包括收放卷的张力、卷径、机器的运行速度等的设置和数据显示、真空系统的运行指示都在触摸屏中进行。
操作面板的右上部是蒸发源加热功率调节钮和电流表，可以调节和显示每组蒸发源的功率。
操作面板的下部是功能控制按钮或开关，包括控制电源总开关、卷绕车进退、摆臂进退、弯辊正反转、送丝开关及速度快慢、盖板开关、系统运行的控制模式选择等。
真空磁控溅射镀膜机的维护**及安全工作措施
真空卷绕镀膜机的维护**及安全工作措施如下：
1、设备接地必须可靠，并经常检查接地装置导电作用。
2、扩散泵和油增压泵在加热情况下，切勿与大气接触，以免泵油氧化。
3、定期检查和调整水流继电器，检查断水报警是否正常，保证设备冷却水供水畅通。
4、扩散泵和油增压泵加热前必须接通冷却水，泵停止工作，但泵内未冷却至80℃以下时，不得切断冷却水，以防止泵芯烧毁。
5、镀膜工作前必须接通全部设备冷却水，以防止电极和基材烧毁。
6、在拆装设备各零部件时，应注意保护各密封工作面不受机械划伤或损伤，以保证设备密封性能可靠。
7、设备各传动转轴真空密封处均采用“骨架式油封”密封形式，骨架式油封内腔均充以润滑油。使用一段时间就会损耗，必须以相同的润滑油充入。
8、经常检查罗茨泵和滑阀泵的存油量，并定期予以补充。同时按其说明书的要求进行维护**。
9、定期检查各行程开关控制器，保证各工作部件处于正常工作状态。
10、每天应对滑阀泵和气源进行排水。
11、定期检查各减速器的储油量及油质。