1、氮气置换设备的氮气衔接收。氮气衔接收是由厂家定型出产，管线直径为25毫米，它的耐压强度不低于6.4兆帕；在管的两头设有疾速接头。参阅**规范规则和安全操作需求，管线描绘长度为15米，管线与管线之间由疾速接头衔接，在氮气衔接收线与氮气瓶衔接端设有压力表、单向阀（在替换氮气瓶时避免倒流）和闸口（是单向阀的弥补，管道氮气置换，当单向阀失掉作用时，操作此阀），由疾速接头衔接氮气瓶出口。
2、氮气置换设备的衔接收。衔接收的两头别离与事端槽车的液相管和处置事端集结来的空载槽车液相管衔接。管线是由厂家定型出产，直径为50毫米，它的耐压强度不低于6.4兆帕。参阅**规范和安全操作需求，管线描绘长度为30米，为便于实地操作及管线的带着，描绘每10米长的管线3根，管线与管线之间、管线与槽车之间均由疾速接头衔接。
3、氮气置换设备的异径疾速接头。加工二个50mm变25mm的异径疾速接头。以备事端槽车因，气相管被液态吞没时运用。
4、氮气瓶。用于置换的氮气选用纯度为99.5%的一般氮气，气瓶规范为GB3864—83，容积为40升，压力为12±0.5Mpa。
5、氮气置换设备的槽车。当时，遍及运用的汽车槽车主要是国产的，还有必定数量由国外进口的。
高纯气体输送系统配管施工要领
为了维护高纯气 体的洁净度 ， 、 我们需要 防止配管在施工时尘 埃 的混人 ， 管材切割 时 产生的切屑以及油垢的附着和清洗时各类药 剂的残存 ， 当然 ， 在施工时要完全防止尘埃的 污染是件困难的事 。 祖我 们在 防止 阀门， 管 子 内壁 附着灰尘 ， 使其降低至 小限方面 应 尽努力 为此 ，管道 氮气置换， 在现场施 工 时 已经经过 清洁处 理 的 配 管 ， 阀 门等尽 量 在 使用时开 包。 如果是现场清洗干净的亦应及时用塑料 袋包封保管 整个系统配管施工 结束 ， 进行 全系统的气密性试验和耐压试验， 并对全 系 统进行大流量吹扫 ， 准备各种检查 ， 配管施工 的一般工序
验收 现场对管子 ， 接头、 麟勺等进行 外观检查完好， 并确认其规格、 奴量 、 对 国外 购置的都件等 ， 还要确认其拭拇单等 。 然后 进行分类存放保管。加工 、 切 断 。 对 于 市 场不 销 瞥 的 管 接件和另件要事先**加工使工 程 不致等 待。 切断管子 ，燃气管道氮气置换氧含量， 必须按需要尺寸而定 ， 必须严 聆防止管子变形及修整毛初， 宜用高速切管 机 ， 使切断端面垂直 ， 、 洗净 。 对于 制造厂洗净的抛光管而保 管好的， 不需现场洗净， 对 于 加工 ， 切 断的管 子 ， 配件必须洗净处理 。 国外对于 半导 体行 业用的高纯气体系统的管道 ， 时门及配件， 有 现成的系列产品和 **公 司 首先 ， 他们 可 以向钢管生产广订购经过一定处理的坯管再 经过机械抛光 脱脂处理六 酸洗 电抛光 ， 化学抛光然后在洁净条件下 经高纯水清 洗、 脱水 、供干包封 目前国 内也有经机械抛 光等处理 的不锈钢系列管道 供应 在 八 四 年 ， 上无十西厂高纯气站改造工程 中， 我们qua面来用不锈钢管 自己酸洗即化学擂蚀方法收 到了较好的效果 。 其方法是 ， 攀内壁擦试 脱脂处理 、 水冲洗一 化学腐蚀一 水洗 纯 水冲洗‘ 脱水 高纯 从 吹于一 封存 ， 脱脂 用弓或 ， 应在通风条件下进 行 腐蚀液配 比是 一 一 一 用和的混合液对不锈钢内壁 表面在拉伸过程中混人的尘埃， 油垢等杂质 离子进行腐蚀剥离 其 中时间 的掌握是 关 键 ，管道氮气置换， 杏则将增加内壁的粗糙。
高纯气休的翰送系统应该包括制造厂的 充灌葬里 ， 贮存容器 钥瓶或贮带 ， 运油描 车 ， 直到使用单位贮存设备、 传翰管道系娜直 到炉前管路 ， 亦即凡与高纯气体相接触的一 切设备、 管路 、 仪表 、 阀 门等 因 为高纯气体 在制取 以后 或纯化提纯 以后 的任何沾污或 输送系统管路阀门的 任何微 小泄 漏 ， 即使是 瞬时的恶化 ， 也是不 准许的 一 且沾 污要 回 复原状就相 当困难 如果是管路受到污染 回 复原状则 需相 当长时 间， 并导致庞 大 摄失 因此人们越来越重视提高高纯气体供应的每 一个环节的可靠性 和 质 监视 在 国外 ， 除 了改进空分装置直接 制取高纯 气体外 、 还着 重开发了大容童小体积的纯化装 置 随着大规模集成 电路集成度 的提高又 加 速 了各种气体输送系统的高沽净处理技术方 面做了大量工作 ， 形 成系列 产 品 诸如控制 配管 、 接头 、 阀门的 内表面粗糙度 减少 内表 面积 ， 减少使用另件的 漏 泄及 死 角 ， 改进和 提高洗净方法 ， 加强施工现场尘埃管理 ， ，‘减少 施工 时污垢物的混 人等 总之 ， 对高纯 气体 输送系统的设计 ， 施工及管理 日趋严格化 ， 引 起 人 们 普 遍 关 注 ， 我 们 借 鉴 下 面 一 张 关 于可以着出以污染为原因的图率缺陷高达 六成以上 ， 作为污染 的 内容主要是尘块引越 的断路和短路以及其它杂质引起户勺绝缘低劣 等 因此进行高纯气体翰送系统的设计施工 以及加强对这个系统的管理是理所 当然 的事 情 板国 内、 随着 电子产 品 的更新换狡和清 净技术的广泛应用为高纯气体配套的产品和 系统的管配件阀门已 不是不可能的事了 。 然 而要认真解决好高纯气 体的贮存 ， 输送技术 上的难题 ， 寻求更合理的供气方式加速老管 网的改造 ， 严格高纯气体输送系 统的管理 ， 找 认为还有 “ 再谈” 和交流的必要‘
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