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在水环真空泵时,陕西水环式真空泵,氦透过玻璃的渗透可达10-13升/秒。氢在300~400℃时可透过铁,450℃时可渗过镍,水环式真空泵生产厂家,600℃时可渗透过玻璃,约640℃时还可透过铜。扩散系数。通过单位面积的质量流率的同该单位面积的法向浓度梯度之比。扩散己广泛应用于扩散泵和表面物理等实用技术中。
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有效稀释**气体的浓度:
半导体易产生前面所说的、**的**气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物质,在与空气或氧接触的时候,会引起燃烧甚至;氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。因此半导体真空泵在抽取这些介质时,需要用氮气之类的惰性气体,2BE水环式真空泵生产厂家,在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。
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安装水环式真空泵时进出口没有安装止回阀,导致停泵之后水迅速返回,出口压力下降之后所以低于预设的压力之后全水环式真空泵就会再次启动。这种水环式真空泵频繁启动的解决办法就是自吸泵在出口安装一个止回阀就能解决问题。
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