实验室气路安装4
不锈钢制管件是用来传输各种制程气体的主要管件，尤其是传输一些的**性气体。所以不锈钢制管件的制作和施工要求在以上几种不同材质的管件中***为严格，一般对于P级要求（×10 -9级）制程气体的输送，均要求采用SUS316材质的EP (Electronic Polishing)管材，对于一般非制程气体的输送采用SUS316材质的BA （Bright Anneal）管材。SUS316作为一种低含碳量的不锈钢材料，它不仅具有抗腐蚀性好的优点，而且对凹洞的抵抗性也很好。由于BA管的制作是经过了溶解、压延（Hot/Cold Rolling）、溶接(Welding)、热处理(Hot treatment)、研磨(Polishing)等复杂过程，其表面粗糙度 Rmax≦4.5mm。EP管材除了表面研磨等过程外，再加以电解研磨及精密洗净技术，其Rmax≦0.7mm。
实验室气路安装5
气体管件在安装时，施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行，这样可以减少使用接头的数量，长输管道氮气置换，降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接***好以轨道式焊接法（Orbital Welding）来接合，对于不锈钢的焊接要采用弧焊，并向施焊管内通入同等纯度的气，管道氮气置换，这样可以确保连接的品质，并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳，燃气管道氮气置换，从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封（Metal to metal face seal）的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有VCR 和Swagelok两种，具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下，VCR式的接头主要用在制程气体以及**气体的传输上，管路连接后接头里面的垫圈（Gasket）将会适度变形以确保管路每秒低于10 -9cc的氦气泄漏率（Leakage Rate）。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合不良或气体外泄。Swagelok 接头通常用在惰性气体、氮气以及CDA等气体的传输上，因为这些气体可以容许一定的外泄率，所以不常用成本较高且须焊接的VCR式接头。总的来说，管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量，燃气管道氮气置换氧含量，因为大多数的**气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。
管道氮气置换-念龙化工-燃气管道氮气置换由郑州念龙化工产品有限公司提供。管道氮气置换-念龙化工-燃气管道氮气置换是郑州念龙化工产品有限公司升级推出的，以上图片和信息仅供参考，如了解详情,请您拨打本页面或图片上的联系电话，业务联系人：张经理。
不锈钢制管件是用来传输各种制程气体的主要管件，尤其是传输一些的**性气体。所以不锈钢制管件的制作和施工要求在以上几种不同材质的管件中***为严格，一般对于P级要求（×10 -9级）制程气体的输送，均要求采用SUS316材质的EP (Electronic Polishing)管材，对于一般非制程气体的输送采用SUS316材质的BA （Bright Anneal）管材。SUS316作为一种低含碳量的不锈钢材料，它不仅具有抗腐蚀性好的优点，而且对凹洞的抵抗性也很好。由于BA管的制作是经过了溶解、压延（Hot/Cold Rolling）、溶接(Welding)、热处理(Hot treatment)、研磨(Polishing)等复杂过程，其表面粗糙度 Rmax≦4.5mm。EP管材除了表面研磨等过程外，再加以电解研磨及精密洗净技术，其Rmax≦0.7mm。
实验室气路安装5
气体管件在安装时，施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行，这样可以减少使用接头的数量，长输管道氮气置换，降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接***好以轨道式焊接法（Orbital Welding）来接合，对于不锈钢的焊接要采用弧焊，并向施焊管内通入同等纯度的气，管道氮气置换，这样可以确保连接的品质，并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳，燃气管道氮气置换，从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封（Metal to metal face seal）的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有VCR 和Swagelok两种，具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下，VCR式的接头主要用在制程气体以及**气体的传输上，管路连接后接头里面的垫圈（Gasket）将会适度变形以确保管路每秒低于10 -9cc的氦气泄漏率（Leakage Rate）。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合不良或气体外泄。Swagelok 接头通常用在惰性气体、氮气以及CDA等气体的传输上，因为这些气体可以容许一定的外泄率，所以不常用成本较高且须焊接的VCR式接头。总的来说，管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量，燃气管道氮气置换氧含量，因为大多数的**气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。
1.实验室的用气量、用气点以及使用的什么气体，
2.实验室的结构，
3.气体存储装置点，
4.用气实验台结构及规格形状
5.实验室所在建筑的结构。
6.管件及组件的选材，根据气体类别和实验室需求选择
实验室气路安装系统组成
主要由气源切换系统(一级减压系统)、管道及连接件系统、二级调压系统、气体过滤纯化系统、气体报警系统、压力表、球阀等组成。
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