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良好的抗腐蚀性和抗乳化性：水环式真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会与油发生化学反应，腐蚀泵内零件；吸入空气中往往含有水汽冷凝水，引起润滑哟的乳化并使金属腐蚀，所以要求具有良好的抗腐蚀和抗乳化性。

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真空泵漏率测量的办法是以示漏物质夜盖被橙容器的整个区或者被检容器内充人示漏物质，另一侧抽真空或是大气;或是在被检容器的内外两侧形成压差或示漏物质的浓度差，在低压或低浓度侧漏物质的漏率和浓度变化。

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定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道，避免超压：

　　半导体真空泵应用时，抽取介质过程中经过反应室与真空泵，2BE水环式真空泵厂家，其成分可能极为复杂，如SiH4与O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解会形成HCl；假设是油封式机械泵，这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质，水环式真空泵价格，就可能堵塞真空泵或管路系统，影响真空泵性能，造成压力上升或超压，一点中提到的**性也更大。所以需要及时的清洗，并在必要的时候设置过滤设备。

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