实验室气路安装5
气体管件在安装时，施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行，燃气管道氮气置换氧含量，这样可以减少使用接头的数量，降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接***好以轨道式焊接法（Orbital Welding）来接合，对于不锈钢的焊接要采用弧焊，并向施焊管内通入同等纯度的气，管道 氮气置换，这样可以确保连接的品质，并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳，从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封（Metal to metal face seal）的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有VCR 和Swagelok两种，具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下，VCR式的接头主要用在制程气体以及**气体的传输上，管路连接后接头里面的垫圈（Gasket）将会适度变形以确保管路每秒低于10 -9cc的氦气泄漏率（Leakage Rate）。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合不良或气体外泄。Swagelok 接头通常用在惰性气体、氮气以及CDA等气体的传输上，管道置换氮气，因为这些气体可以容许一定的外泄率，所以不常用成本较高且须焊接的VCR式接头。总的来说，管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量，因为大多数的**气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。
高纯气体输送系统对设计方案的要求
设计者应对“ 用户 ， 提出的设计要求进行 重新估价 ， 力求在技术上可行 ， 经济上合理 ， 对老管网 的改造工 程 还要 因地制宜 ， 考虑走 向合理和施工方便 上无十四厂的高纯气体 输送系统改造工程 由子技术夹层无法穿越管 道和进行焊接施工 ，管道氮气置换， 即采 用外墙 面敷设和 工 艺室 明管安装 、 尽管管道长了 ， 但施工方便和 焊接上的可靠 ， 达到 了改造 的予 期 效果 对 于部分老 管道 、 材质好 、 能置换干净而气密性 又好的就不该一律废 除 ， 但无论 是新老 管道 其方案设计的终都应该满足下列要求 、 系统可 靠 ， 能稳定供应和 输送高纯度 气体 ， 整个系统应该 防振动 ， 不 易 被 污染 ， 气 密性要妊、 能连续运行、 留有一定余量 采用 液 态输送则要保证气源 充足 ， 若用 钢瓶气则要 确保钢瓶周转余地 、 有高度 的安全性 。 由于 洁净厂 房多 数是无窗厂房 生产 中消耗可 燃性气体和 溶齐咬又多 ， 因此输送系统的安全性特别重要 。
燃气管道氮气置换氧含量-管道氮气置换-念龙化工由郑州念龙化工产品有限公司提供。行路致远，砥砺前行。郑州念龙化工产品有限公司致力成为与您共赢、共生、共同前行的战略伙伴，与您一起飞跃，共同成功!
气体管件在安装时，施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行，燃气管道氮气置换氧含量，这样可以减少使用接头的数量，降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接***好以轨道式焊接法（Orbital Welding）来接合，对于不锈钢的焊接要采用弧焊，并向施焊管内通入同等纯度的气，管道 氮气置换，这样可以确保连接的品质，并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳，从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封（Metal to metal face seal）的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有VCR 和Swagelok两种，具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下，VCR式的接头主要用在制程气体以及**气体的传输上，管路连接后接头里面的垫圈（Gasket）将会适度变形以确保管路每秒低于10 -9cc的氦气泄漏率（Leakage Rate）。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合不良或气体外泄。Swagelok 接头通常用在惰性气体、氮气以及CDA等气体的传输上，管道置换氮气，因为这些气体可以容许一定的外泄率，所以不常用成本较高且须焊接的VCR式接头。总的来说，管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量，因为大多数的**气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。
高纯气体输送系统对设计方案的要求
设计者应对“ 用户 ， 提出的设计要求进行 重新估价 ， 力求在技术上可行 ， 经济上合理 ， 对老管网 的改造工 程 还要 因地制宜 ， 考虑走 向合理和施工方便 上无十四厂的高纯气体 输送系统改造工程 由子技术夹层无法穿越管 道和进行焊接施工 ，管道氮气置换， 即采 用外墙 面敷设和 工 艺室 明管安装 、 尽管管道长了 ， 但施工方便和 焊接上的可靠 ， 达到 了改造 的予 期 效果 对 于部分老 管道 、 材质好 、 能置换干净而气密性 又好的就不该一律废 除 ， 但无论 是新老 管道 其方案设计的终都应该满足下列要求 、 系统可 靠 ， 能稳定供应和 输送高纯度 气体 ， 整个系统应该 防振动 ， 不 易 被 污染 ， 气 密性要妊、 能连续运行、 留有一定余量 采用 液 态输送则要保证气源 充足 ， 若用 钢瓶气则要 确保钢瓶周转余地 、 有高度 的安全性 。 由于 洁净厂 房多 数是无窗厂房 生产 中消耗可 燃性气体和 溶齐咬又多 ， 因此输送系统的安全性特别重要 。
1、高压波纹软管 ：外表不锈钢金属网内衬PTFE材质，长度1米以上，通径大于6MM。一端符合标准钢瓶的连接型号，另一端连接自动切换系统。承受大于3000PSI。其特性为：洁净光亮、柔软、防腐。
2、低压报警器 ：低压报警器多触点可模拟数据输出型，报警器可蜂鸣闪光同时显示报警气体的名称。防爆接线、信号模拟和自动切换系统汇流排相匹配。
3、减压阀 ：316L不锈钢材质。一级减压阀进气压力0-200bar，出气压力0-16bar;二级减压阀进气压力0-16bar，出气压力0-6bar。进出口接口1/4” FNPT螺纹，压力表接口1/4” MNPT螺纹。
4、管道 ：管道采用内表面BA及316L ASTM A269标准不锈钢管道，316L不锈钢光亮退火，母材符合BA及高纯管道，管道的内表面处理值要小于0.37U。管道的标准：1/4”---1/2”壁厚0.88mm。***大承受压力为300 bar，气管适用纯度等级为5.0的气体。
5、接头 ：采用316L不锈钢光亮退火，母材符合Bji的高纯气路配件。双卡套设计。硬化处理之后卡套，具备对管子的耐震力及高抓力，使管子在任何情形下不易松脱而造成**。后卡套内部有凹槽，安装时可以降低扭力，安装者可以轻易将接头锁至标准圈数。螺帽内部螺纹做镀银处理，具备安装时必要的润滑，延长螺纹寿命。
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