臭氧在水中的分解速度比空气中快的多。在含有杂质的水溶液中臭氧迅速回复到形成它的氧气。如水中臭氧浓度为 6.25×10 -5 mol/L(3mg/l) 时，多功能高压高温蒸汽清洁机，其半衰期为 5 ～ 30min ，酒店高压高温蒸汽清洁机，但在纯水中分解速度较慢，如在蒸馏水或自来水中的半衰期大约是 20min （ 20℃ ），然而在二次蒸馏水中，经过 85min 后臭氧分解只有 10 ％，顽固油污高压高温蒸汽清洁机，若水温接近 0℃ 时，高压高温蒸汽清洁机，臭氧会变得更加稳定。
臭氧在水中的分解速度随水温和 PH 值的提高而加快
1868 年霍尔曼（ Hollman ）研究了臭氧的热化学特性。把不同的气体（ H2 和 C2H2 ）在纯氧气体中燃烧时所释放出的热，与同一气体在臭氧气体中燃烧时所产生的热量相比较，发现有臭氧存在时释放的热量总要大一些。由于知道 O3 /O2 混合气体浓度（ 1 ％～ 2 ％质量）以及臭氧存在时放出的热量，就能计算出每克臭氧变成氧气所放出的热量。
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