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注意氧气的浓度:空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及风险。所以一些情况下需注意氧的浓度,采用惰性气体来稀释,防止浓度过高;假设是油封机械泵可能还需要采用一些惰性的与氧相容的真空泵油,并及时更换油滤和油品。
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有效稀释**气体的浓度:
半导体易产生前面所说的、**的**气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物质,在与空气或氧接触的时候,陕西水环式真空泵,会引起燃烧甚至;氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。因此半导体真空泵在抽取这些介质时,需要用氮气之类的惰性气体,在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。
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加强管路及各连接处的安装,2BV水环式真空泵多少钱,是对水环式真空泵的帮助,2BV水环式真空泵哪家好,这是它得以实现稳定运行的标志,也是通过这些细小的安装工作,才真正体现出真空泵的使用度,通过运行平稳的证实,也就说明正确的安装及良好的密封性,更加为生产过程增添了有利因素。
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