根据齿轮的工艺检验要求，常用的检具有齿轮综合检查仪，利用双面啮合法或单面啮合法，测量齿轮精度的长度测量工具。齿轮综合检查仪分为双面啮合检查仪和单面啮合检查仪两种。齿轮单面啮合检查仪简称单啮仪，用于测量切向综合误差等。单啮仪可分为光栅式、磁栅式和惯性式几种。齿轮侧隙合理性的检测齿厚偏差可用齿厚油标卡尺测量，公法线平均长度偏差和公法线长度变动可用公法线千分尺或公法线千分表卡规来进行检查。
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齿轮轴颈超精加工
齿轮泵齿轮轴颈表面粗糙度要求为Ra=0.1，大批量生产时，为了稳定达到这个要求，一般采用油石条对其进行超精加工。这道工序既可专用机床上用两个超精振动头，同时超精加工齿轮两个轴颈，也可对一般车床进行改造，安装一个超精振动头，齿轮加工厂，于每次装卡工件后，超精加工其一端轴颈。
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“十一五”末期，中国齿轮制造业年销售额可达到1300亿元，人均销售额上升到65万元/年，在世界行业排名中达到世界第二。2006-2010年将新增设备10万台，即每年用于新增设备**约60亿元，新购机床2万台，每台平均单价30万元。到2010年，中国齿轮制造业应有各类机床总数约40万台，齿轮生产厂家，其中数控机床10万台，数控化率25%（高于机械制造全行业平均值17%）。
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