1.2集成电路行业VOCs主要成分
集成电路行业有机废气VOC的主要成分为和，此两项物质占比达VOCs主要成分80%-100 %，其中占比55%以上，占比5%-34%。
2.集成电路行业VOCs废气处理方法
集成电路行业废气主要成分VOCs废气，目前对于VOCs废气处理方法主要有活性炭吸附法、低温等离子法、燃烧法、UV光解法。
外表能 液体或固体物质内部的分子受它周围分子的引力在各个方向上都是均衡的，承接废气净化工程，通常内层分子之间引力大于外层分子引力，因而，一种物质的外表分子比内部分子具有剩余的能量，即成为外表能。固体外表因为具有外表能，废气净化工程，所以导致外表吸附效果。3、外表化学性质 在固体外表上的吸附除与其比外表积有关外，还与固体所具有的晶体结构中的化学键有关。固体对溶解中电解质离子的选择性吸附就与这种特性有关。 总归，固体外表积的巨细只提供了被吸附物与吸附剂之间的触摸时机，外表能从能量的视点研讨吸附外表进程主动发作的缘由，而吸附剂外表的化学状况在各种特性吸附中起着重要的效果。
采用吸附法净化含氟烟气干法净化废气处理工艺。首先，净化烟气与吸附剂的接触;其次，大型废气净化工程，完成了吸附过程;后，将烟气和吸附剂分离。因此，整个含氟烟气干法净化废气处理工艺在吸附设备中完成。
提到了干法净化废气处理工艺中的吸附原理，意思就是气体分子由于布朗运动接近固体表面时受到固体表面层分子剩余价力的吸引而出现这种现象，被称为吸附现象。含氟烟气干法净化废气处理工艺中的吸附类别有物理吸附和化学吸附。
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