管道置换氮气-管道氮气置换-念龙化工

2、气瓶柜的技术要求为铝型35×35框架，管道 氮气置换，柜门、侧板采用金属冷轧板，均用环氧树脂粉沫喷涂，内设可活动的气瓶抱箍，便于气瓶的更换和移动。地脚为不锈钢螺丝、尼龙罩盖、橡胶底座组合结构，可调节高度为0—0.3m。配置了气体泄漏报警、温度数字指示、气体**时自动排放。具有防爆、阻燃等功能。

3、实验室应按照房间大小比例设计相应数量带逆风阀的换气扇，使空气流通顺畅，保持清洁。每个房间都要设计带有过滤装置的通气孔，如果是带有室内走廊的房间也可在门窗上设百叶窗，尺寸按照排气量比例关系计算。

（1）性气体

把自燃、、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的SiH4气体只要与空气接触就会燃烧，当环境温度达到一定时，PH3与B2 H6等气体也会产生自燃。可燃气体都有一定的着火燃烧范围，即上限、下限值。此范围越大的气体起燃烧**性就越高，如B 2H6的上限为98%，下限为0.9%。属于气体有H 2，NH3，PH3，DCS，ClF3 。

（2）毒性气体（Toxic Gas）：半导体制造行业中使用的气体很多都是对****、**的。其中又以AsH3， B 2H6，PH3等气体的毒性***大，它们的阈限值TLV（Threshold Limited Valve）分别只有50×10-9，100×10 -9，300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微，因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求特别的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。NO， ***F6，C5F8 ，NF3，管道置换氮气，CH 3F等都属于毒性气体。

（3）腐蚀性气体（Corrosive Gas）：这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性，如HCl， HF， PCl3， SiF4，ClF3，WF6等。

（4）惰性气体(Inert Gas)： 隋性气体本身一般不会直接对**产生伤害，在气体传输过程中，相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成事故。属于这类的气体有C2 F6，管道氮气置换，CF4，SF6，CHF 3等。

（5）氧化性气体（Oxide Gas）：这类气体有较强的氧化性，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有ClF3 ，Cl2，NF3等。

干燥和置换方式的选挥

T l2 03 储罐的氮气干燥和置换，其容积达19. 78 万时，置换方法的选择将影响储罐置换的总体进度，从此次置换过程来分析，实际施工时可以灵活的选用任何一种方法进行，但对于此类初期置换容和、，大内部空间 空气体积量较 大的可优先采用连续干燥和置换的方式进行，在一定压力下连续置换效果与初期有所下降时，及早改用压涨式进行置，换此二种方法相结合对加快储罐系统干燥和置换发挥了良好作用。

5.3. 2 置换路径方面的优化

储罐系统置换所分的四个区，每个区置换的时间要求均不 同，燃气管道氮气置换方案，从重要程度、难度方面分析，从工施的可行性这一角度进行论证，可将 A 区与B 区在置换接近设定标准值前，提前用其处的氮气对C 区与 D 区同时进行干燥与置换，多点同时进行的方法相当于缩短了系统置换时间。

5. 3. 3 升、力速度的控制

氮气干燥置换过程中， 每小时压力变化不能超过 2kPa，同时特别注意在升压时要保证各区压力情况为：A 区；，二， B 区 注C 区》D 区。次压涨式进行干燥和置换时，压力范围可控制到3～ lOkPa 左右，之后的可控制到5 ～ IOkPa 左右，加减压排放的方式进行加强巩固干燥效果时，尽可能小的升、力速度，以免压力波动对储罐系统带来不可预见的影响。

5. 3.4  干燥和置换介质讨论

干燥和置换介质从（<BS EN 14620-5- 2006 第 5 部分：试验、

干燥、置换和冷去H》描 述需要选择惰性气体，从经济、适用上优先选用相对便宜且较为容易获取的氮气进行置换工作，置换过程   中可在适当的时间给氮气进行加热处理，     作用为加速空气与氮气的混合，有利于罐内空气及水份的排出，加快达到罐内、 含氧量的质量要求。