手动式三维测量仪操作者用手握住主轴使其沿着轴移动。测量时，需注意探头与工件间测量压力、及探头移动因加速度所造成轴产生弯曲导致的一些测量数据的误差。马达驱动式三维测量仪马达驱动式三维测量仪一般可由游戏杆控制。它具有高测量精度、操作起来相对手动式比较容易、且提供教导式测量等优点。CNC式三维测量仪CNC式三维测量仪除了具有马达驱动式的功能之外，还可自动依照计算机所预先设定的程序执行测量，甚至有些厂商出品的三维测量仪，南京3d检测，也提供了自动装拆工件。
由于计算机及计算技术的发展，人们开始使用计算机来完成摄影测量中复杂的几何解算和大量的数值计算。这便出现了始于20世纪50年代末的解析空中三角测量仪、解析测图仪与数控正射投影仪，开辟了解析摄影测量的新纪元。1957年，海拉瓦博士提出了利用计算机进行解析测图的思想，限于当时计算机的发展水平，解析测图仪经历了近20年的研制和试用阶段。到了20世纪70年代中期，计算机技术的发展才使解析测图仪进入了商用阶段。
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