真空镀膜机的真空室该如何设计呢?
真空镀膜机相比大家都存有疑惑，今天来讨论一下的是关于真空镀膜设备真空室的设计问题，要是您有兴趣了解的话可以和宝瑞钛金一起来看看下面的内容。
真空镀膜技术是在真空条件下采用物理或者化学方法，使物体表面获取所需膜体，真空镀膜技术根据其采用方法的不同科分成蒸发镀、溅射镀、离子镀、束流沉积以及分子束外延等，这次分析的镀膜设备采用的是磁控溅射镀膜。
真空室是真空设备的一个主要组成部位，真空镀膜设备真空室设计主要考虑的就是密封性和可靠性，结构必须要合理，真空设备的材料生产都是在真空室内进行的，材料对真空度的影响要小，设计不能马虎，要注意一些问题。
维修真空镀膜机一定要按照步骤操作
维修真空镀膜机一定要按照步骤操作首先我们要保证镀膜机与地面充分接触，扩散泵和油增压泵加热前必须接通冷却水并开维持泵。扩散泵和增压泵停止工作，维持泵半小时后才能关，1小时后断水，但泵内未冷却至80℃以下时，不得切断冷却水，以防止泵芯烧毁。扩散泵和增压泵各留有备用水出口，若镀膜机故障或停电必须开备用出口让其冷却扩散泵和增压泵，镀膜工作前必须接通全部设备冷却进水，以防止电极和基体材料烧毁。设备各传动转轴真空密封处均采用“骨架式油封”密封形式，骨架式油封内间均充以饱和油蒸汽压很低的真空油脂和扩散泵油。使用一段时间即会损耗，必须以相同的真空油脂和扩散泵油充入，决不能用其他油品代替。
真空镀膜封件的安装方法：
安装方法随机械密封型式、机器的种类不同而有所不同，但其安装要领几乎都相同，安装步骤和注意事项如下：（1）安装尺寸的确定：安装时，应按产品的使用说明书或样本，保证机械密封的安装尺寸。
（2）装入前，轴（轴套）、压盖应刺，轴承状况良好；密封件、轴、密封腔、压盖都应该清洗干净。为减少摩擦阻力，轴上安装机械密封的部位要薄薄地涂上一层油，以进行润滑，考虑到橡胶O形圈的相溶性，若不宜用油，可涂肥皂水。浮装式静环不带防转销的结构，不宜涂油，应干式装入压盖。
（3）先将静环与压盖一起装在轴上，注意不要与轴相碰，然后将动环组件装入。弹簧座或传动座的紧定螺钉应分几次均匀拧紧。
在未固定压盖之前，用手推补偿环作轴向压缩，松开后补偿环能自动弹回无卡滞现象，然后将压盖螺拴均匀地锁紧。