真空抽气系统的结构与工作原理
高真空卷绕镀膜机的真空抽气系统由卷绕室抽气机组和镀膜室抽气机组组成。
卷绕室抽气机组由1台油增压泵、2台罗茨泵、1台滑阀泵和1台旋片泵组成，油增压泵作为主泵，以保证在达到10-1Pa的工作压力下有较大的抽气速率；
镀膜室抽气机组由1台油扩散泵、1台罗茨泵、1台滑阀泵和1台旋片泵组成，油扩散泵作为主泵，以保证铝丝蒸发所需的10-2Pa真空状态。
真空抽气系统由可编程PLC集中控制，在液晶触摸屏上进行操作，分为自动控制和手动控制两种模式。正常操作使用自动模式，PLC将根据在真空计中设定的各级真空值对各台真空泵的启动或停止、阀门的开启或关闭等功能实现自动控制。手动控制模式主要供调试和检修时使用，可以实现单独开闭各泵和阀门的操作。
真空管道上的阀门均为气动控制阀，并采用电磁换向阀控制其开启或关闭，阀门上的气缸配有位置信号开关，方便控制系统对阀门的状态实施监控。
在罗茨泵与滑阀泵的连接管道上装有气动充气阀，可供滑阀泵停止时向泵腔内充入大气之用，其开、闭动作与滑阀泵联动，由可编程PLC控制其滞后或提前的时间。
镀膜室抽气方阀上装有气动放气阀，供卷绕结束时卷绕车退出前向真空室内充入大气之用，其开启动作和时间长短由可编程PLC控制。
各个真空管道上装有真空测量规管座以提供可编程PLC和真空计所需的真空压力信号，同时为维修、检测真空系统各管道的压力提供方便。
真空镀膜机工艺一般都运用到哪些领域？
1、真空镀膜工艺在信息存储范畴中的运用薄膜资料作为信息记载于存储介质，有其得天独厚的优势：因为薄膜很薄能够疏忽涡流损耗；磁化回转极为敏捷；与膜面平行的双稳态状况简单保持等。为了更精细地记载与存储信息，必定要选用镀膜技能。
2、真空镀膜工艺在传感器方面的运用在传感器中，多选用那些电气性质相关于物理量、化学量及其变化来说，极为敏感的半导体资料。此外，其中大多数运用的是半导体的外表、界面的性质，需求尽量增大其面积，且能工业化、低报价制造、因而选用薄膜的状况许多。
3、真空镀膜机工艺在光学仪器中的运用大家了解的光学仪器有望远镜、显微镜、照相机、测距仪，以及平时生活用品中的镜子、眼镜、放大镜等，它们都离不开镀膜技能，镀制的薄膜有反射膜、增透膜和吸收膜等几种。
4、镀膜机工艺在集成电路制造中的运用，镀膜机晶体管路中的保护层（SiO2、Si3N4）、电极管线（多晶硅、铜及其合金）等多是选用CVD技能、PVCD技能、真空蒸腾金属技能、磁控溅射技能和射频溅射技能。可见气相堆积术制备集成电路的核心技能之一。
瓷砖真空镀膜设备
经瓷砖真空镀膜设备加工后的瓷砖更具有光泽，耐磨指数大大提高，可以生产仿金色、玫瑰金色、银白色、黑色等膜层。瓷砖真空镀膜设备主要用于瓷砖、瓷片、陶瓷砖等离子镀膜。该系列设备主要配置为阴极电弧蒸发源，也有配偏压电源，也有配磁控溅射靶。设备特点：配强大抽气系统，抽气快，装载量大，产能高，生产成本低。可以生产仿金色、玫瑰金色、银白色、黑色等膜层；采用贴花纸和涂覆水溶性涂料遮挡技术可以得到各种彩色花纹图案。经瓷砖真空镀膜设备加工后的瓷砖更具有光泽，耐磨指数大大提高。
