安全浓度：
人们允许接触的臭氧浓度不大于0.2mg/m3。
1）臭氧工业卫生标准： 国际臭氧协会： 0.1ppm，接触10小时 美 国： 0.1 ppm，接触 8小时 德、法、日 本： 0.1 ppm
2）家用臭氧消毒柜外臭氧泄漏量不得超过0.2mg/m3（指1.5米以外），商用高压高温蒸汽清洁机，消毒一个周期后残留浓度不得大于0.3mg/m3。
3）动物试验表明，臭氧毒性的起点浓度为0.3ppm，高压高温蒸汽清洁机，而人对空气中臭氧可嗅知的浓度为0.02～0.04ppm，客房高压高温蒸汽清洁机，根据臭氧对肺功能毒性的试验结果，工地高压高温蒸汽清洁机，提出1.5～2.0ppm为臭氧允许浓度的上限。规定臭氧允许浓度为0.3mg/m3(0.15ppm)。
臭氧发生器臭氧量与供给电压、空气压力、空气流量、湿度、空气湿度等因素有关。一台臭氧发生器主要是调节电压和空气流量来改变臭氧发生量的。
电解式臭氧发生器（ELOG）
电解式臭氧发生器是通过电源超纯水产生臭氧。目前已经有几个电解式臭氧发生器的制造商。一个电解池臭氧的生产能力在1－4gO3/h，在一个发生器里可以组装几个这样的电解池。影响臭氧生产能力的主要因素有：电压、电流和温度等。
放电式臭氧发生器也叫无声放电，应用高能量交互式电流作用气体使氧气分子电离。原料是氧气或空气，操作压力可以是大气压也可以高一点（P=100-600Pa）。
目前，可应用于工业规模的放电式臭氧发生器种类繁多，其主要差别是：电晕元件几何形状、电源形式、散热工艺和运行条件等。放电式臭氧发生器的分类及特点如表2所示。
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