1.真空泵维修在正常的工作中要注意检查轴承的工作和润滑情况，其温度（轴承和外圆处）比环境温度一般高出15℃～20℃为宜，滑阀真空泵油，不允许超过30℃～35℃，真空泵油雾过滤器，即轴承架外圆处实际温度不应超过55℃～60℃；正常工作的轴承每年应加油3～4次，每年至少清洗轴承一次，并将润滑油全部更换。2.真空泵维修在正常工作中还要定期压紧填料，如果填料因磨损而不能保证所需要的密封性能时，应更换新填料。如果采用机械密封，发现泄漏现象，应检查机械密封的动静环是否已损坏或是辅助密封老化，美孚真空泵油，如出现上述情况，均需要更换新零件。3.真空泵维修在出现特殊声音时，可拆下两端盖上的压板，查看叶轮两端面是否与分配器研伤，还可检查排气阀板是否正常。
1.缸体修复技术；缸体修复技术是整个维修的核心技术，针对缸体磨损、起波浪等进行**修复。
2.校对；水平校对，主要是转子的校对。
间隙调整；间隙是指转子跟缸体的间隙，间隙一般调整在3-5司。
3.清洗技术；清洗技术是真空泵维修的前提，包括了对油箱的清洗和缸体的清洗；真空泵的清洗除了用水煮以外还要对一些油渍的清洗，特别是针对核心部件的清洗尤为重要，彻底的清洗时真空泵性能稳定的前提！
涡旋水环真空泵的研究始于20世纪80年代末期。1988年，日本东京大学的MorishitaE研制了抽速为200L/min的立式自转型油润滑涡旋水环真空泵，与公转型涡旋真空泵相比，该泵的径向间隙具有易于密封和控制的优点。而涡旋泵与旋片泵相比，具有更高的容积效率，泵内的振动和噪声水平都有所降低。此外，由于其结构更紧凑，整机重量和体积分别减少了12%和40%。 MorishitaE的研究表明了涡旋真空泵的性，真空泵油，并对如何消除余隙容积、控制间隙等提出了有效方法。随着涡旋真空泵在半导体行业中应用的不断扩大，人们开始致力于干式涡旋真空泵的研究。干式涡旋真空泵与油润滑涡旋真空泵的区别在于泵腔内不含任何的油类和液体。因此解决泵内的密封和冷却问题，是干式涡旋真空泵研究的关键。1990年，KushiroT研制了抽速为600L/min的卧式干式涡旋真空泵。
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