本科生 集成电路实验平台实验目的
通过实验动手操作，加深对半导体物理理论知识的理解，掌握半导体材料和不同器件性能的表征方法及基本实验技能，培养分析问题和解决问题的能力。
本科生集成电路实验平台实验目录
实验一：金属-氧化物-半导体场效应晶体管特性IV特性测试实验
实验二：四探针法测量半导体电阻率测试实验
实验三： MOS电容的CV特性测试实验
实验四：半导体霍尔效应测试实验实验
实验五：激光二极管LD的LIV特性测试实验
实验六：太阳能电池的特性表征实验
本科生集成电路实验平台优势
满足本科生基础教学实验中微电子器件和材料测试需求
测试设备简单易用，Z业Q威，方便学生动手操作
核心设备测试精度高，满足新材料和新器件的指标要求
测试软件功能齐全，平台化设计，有专人维护支持，与Z业测试软件使用相同架构
以基础平台为起点，可逐步升级，满足日益增加的实验室测试需求
本科生集成电路实验平台基本功能
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实验名称 |
测试参数 |
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金属 - 氧化物 - 半导体场效应晶体管特性的 IV 特性测试实验 |
l 输出特性曲线 l 转移特性曲线 l 跨导 gm l 击穿电压 BVDS l |
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四探针法测量半导体电阻率测试实验
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l 四探针法电阻率ρ l 材料阻值 R |
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MOS 电容的 CV 特性测试实验（低频 + 高频） |
l CV 特性曲线 |
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半导体霍尔效应测试实验 |
l 霍尔电压 VH l 霍尔电阻率ρ l 霍尔系数 RH l 载流子浓度 n l 霍尔迁移率 u |
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激光二极管 LD 的 LIV 特性测试
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l LIV 特性曲线 l 阈值电流 Ith l 阈值电流对应电压值 Vth l 拐点 Kink l 线性电阻 Rs |
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太阳能电池的特性表征
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l 开路电压 Voc l 短路电流 Isc l 功率Z大值 Pmax l 填充因子 FF l 转换效率η l 串联电阻 Rs l 旁路电阻 Rsh |
本科生集成电路实验平台核心
测试平台的核心– 源测量单元
普赛斯国产源表四表合一 四象限模式
四线/开尔文测试功能
小信号测试
满足X进器件和材料测试需求
交流测试使用LCR表
探针台：4寸或6寸手动探针台
有关 国产源表搭建集成电路实验平台的更多信息请咨询一八一四零六六三四七六
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